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V01．30
第30卷第6期增刊 仪 器 仪 表 学 报 NO．6
Chinese
2009年6月 JoumalofScientificInstrument Jun．2009
精密小角摆三维气浮工作台的研究木
卢明臻 高思田 施玉书 杜华 崔建军
(中国计量科学研究院长度计量科学与精密机械测量技术研究所，北京100013)
摘要：精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中，对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提}}{了较严格要求。
为了研制出符合要求的运动平台，本文研究了气体静压轴承承载特性、商线导轨设计原则、三维运动台布局等问题，充分利
全行程内较小的旋转误差。测试结果表明，在X、Y、z向驱动的情况下，工作台最人偏摆在0．82角秒左右，单轴最优偏摆
在i-0．04角秒之内，且重复性良好。该成果为计量应用提供了一个性能优良的三维位移平台。
关键词：计量学气体轴承精密运动平台旋转误差三维
of
ResearchThree-DimensionalPrecision
Air-bearingStage
withSmall Error
Rotatory
Lu GaoSitianShiYushuDuHuaCui
Mingzhen Jianjun
(NationalInstitute China)
100013
ofMetrologyBeijing
Abstract：Precisionmotionisonekindofuniversal itis indimensional
stage technology．Whenapplied metrology,
linearmotion a motion
errorof is restricted．Inorderto the
rotatory rigorously precisionstagesatisfying
develop
characteristicofair andconstructionoflinear and of
request，load-bearing bearing principle guidewaylayout
three—dimensionalmotionarestudiedinthis the ofair
stage paper．Fullyutilizingadvantagedbearing，astage
in
which air allthreedirectionsandbedriven thecenterofmass small
rotatory
adoptsbearings
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