聚合物基平面光波导高速电光器件.pdfVIP

第七届全国塑料光纤与聚合物光子学会议论文集 中国·合肥2011年10月15-16日 聚合物基平面光波导高速电光器件‘ 孙小强，陈长呜，王菲，马春生，张大明 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，长春130012 新一代高速、大容量光信息网络，特别是面向资源与业务可重构的光局域网、城域网和用户接 入网迫切需求低成本、低能耗的高速电光器件，凶此电光器件的高。阡能与低成本、低能耗兼备成为 速电光调制器等核心器件。RoF系统需要高速电光调制器具有尽可能低的调制电压，以降低单位比 特能耗和基站成本。目前，40Gb／s光传输系统的调制器已经商用化，在实际中广泛应用的铌酸锂电 光调制器，其光波和微波沿波导调制区传输的相速度不匹配，导致带宽的进一步提高越来越困难。 有机聚合物电光器件的研究已有二十多年的历史，凶为非线性光学聚合物具有较低的相对介电 常数，通过简单的微波电路就可实现光波和微波的相速度匹配，因此响应频率高，易于实现超宽频 ；淞的调制；通过提高掺入或键合到光波导芯层电光材料中生色团含量等措旆，聚合物材料可具有比代 550nm)，半波电压可低达0．5V。聚合物材料 表性无机材料LiNb03高得多的电光系数(300pm／V@1 简单的薄膜制造技术、对不同衬底的兼容性，以及与半导体器件工艺的兼容性使得聚合物电光器件 的制造更加方便和快速，这也为单片光电子集成和混合集成提供了极大的方便。而月．，极化聚合物 电光调制器是目前国内外唯一一有报道的单波长调制频率可达150GHz的器件。凶此，有机聚合物高速 电光调制器具有非常高的研究价值和J1．阔的应用前景。 对于聚合物电光器件的研究，国内外均有报导。国际上代表性的研究单位包括英国南加州人学 ofSouthern of of (University Califomia)、力lI州大学(University of Arizona)等。国内开展聚合物电光器件的研究单位有吉林 Washington)、亚利桑那大学(University 大学、清华大学、电子科技大学、浙江大学、巾科院理化技术研究所、上海交通大学、大连理：I：大 学等单位。研究的重点在jJ：具有更高电光系数和极化稳定性的新型电光材料的合成，器件的设计与 制备。 本文综述了聚合物高速电光器件的研究进展，设计了聚合物高速电光调制器，研制了聚合物高 速电光开关。在材料方面，我们采用电光系数高，热稳定性好的有机／无机复合材料；在波导和电极 结构上，通过优化设汁，进一步提高电光重叠积分囚子，从．向有利_J|．降低半波电压，提高调制器的 100253、201 林人学綦本科研业务费专项资金项目(No．200905005、201103071)联合资助。 电话：0431 “通讯联系人：张人明，Email：zhangdm@jlu．edu．cn El 第七届全国塑料光纤与聚合物光子学会议论文集 中国·合肥2011年10月15—16 对器件进行制备，研制出响应时间纳秒量级的聚合物基平面光波导高速电光开关。 关键词：高速光调制器；高速光开关；平面光波导器件；聚合物；集成光学