原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第29卷第4A期 计 量 学 报 V01．29．No4A
ACrA
2008年9月 MEn{0【J3GICASINICA
利用牛顿环测量光反射位相差的研究
刘香斌， 吴月艳， 张旭东
(1．中国计量科学研究院，北京100013)
摘要：干涉法直接测量量块长度时的位相差是一个重要的误差来源。我国现在位相测量方法是堆积法，该方法
需要很好的研合水平，而且重复性差。提出了一种利用牛顿环来测量光反射位相差的新方法。将一个特制的小透
镜分别放置在被测量块和平晶上，在小透镜的下表面和量块或平晶上表面之间形成等厚干涉的同心圆环，即牛顿
环。分析牛顿环的图象可以测量反射相移和位相差。使用该方法研制的测量装置对量块和平晶表面的光反射位相
差进行了测量试验，其测量结果的标准不确定度小于5Bin。
关键词：计量学；量块；牛顿环；相移；位相差；不确定度
中图分类号：TB921 文献标识码：A 文章编号：1000-1158(2008)4A-0019．03
of for
MeasurementDifferencethePhase on
Change
ReflectionwithNewton’S
Rings
IJU WU ZHANG
Xiang—bin， Yue—yan， Xu-dong
of
(NationalInstitute 100013，China)
Metrology，Beijing
Abstract：Thedifferenceof isa eFiorwhenthe blockis interferometer．Itsmeasurement
phasechangebig gauge lTleasiJ／eK，tby
isstackbefore new isintroduced．Ameasurementwhichisaninterferometerthe
inChina．A special
way way apparatus including
of
lensonthe blockor fiatis interferenceisNewton’S difference
gauge optical developed．Thepicture ring．The phasechanges
measurementislessthan5Bin．
betweenblockand flatismeasured．The
gauge optical uncertainty
block；Newton’S of
Keywords：Metrology；Gaugerings；Phasechange；Differencephasechange；Uncer
文档评论（0）