Sm（CobalNi0.18Fe0.1Zr0.04）x的永磁薄膜性能的研究.pdfVIP

第43卷第 11期 当 代 化 工 Vo1．43．fJ0．11 2014年 11月 ContemporaryChemicalIndustry November，20i4 Sm(Coba。Ni0Feo．Zro)的永磁薄膜性能的研究 王 永，陈 吉 (辽宁石油化工大学，辽宁 抚顺 113001) 摘 要：稀土永磁合金薄膜在微机电系统 (MEMS)、磁记录介质、自旋电子元件和医疗科学领域有着重要 的应用。SmCo基永磁薄膜，其内禀居里温度高于其他永磁薄膜，高温条件下有更高的稳定性，因而在MEMS中 具有潜在的应用前景。采用复合靶和纯钐靶共溅射制备出SmCo基永磁薄膜样品，研究了薄膜合金中Sm含量 以及退火温度等对 Sm(CoNi。。。Fe0zr0叫)相结构、微观形貌以及磁性能的影响，得出以下结论 ：退火温度对薄膜 织构也有明显影响。随着退火温度提高，薄膜织构增强，矫顽力提高。随着 sm含量的提高，薄膜中SmCo相 析出增多，组织更加均匀，矫顽力明显提高。 关 键 词：稀土；薄膜；矫顽力；微观形貌 中图分类号：TQ031 文献标识码： A 文章编号： 1671—0460(2014)11-2243—03 StudyonSm(fobaiNio．1sFe0．1Zro．o4)xPermanentMagneticFilms WANG 略 ，CHENJi (LiaoningShihuaUniversity, LiaoningFushun113001，China) Abstract：Thefilmsofrareearthtransitionmetal(RETM)alloyshavegreattechnologicalapplicationsinthefieldof microelecrtomechanicalsystems(MEMS)，recordingmedia，spintronicdevicesnadmedicalscience．SmCopermanent magnetfilmshavebetterhigh temperature stabilitybecause itsintrinsic curietemperature iShigherthan other pemr anentmagnetfilms；theSmCopermnaentmang etfilmshavepotentialapplicationprospectinM EMS．Inthis paper,Sm ·Cobasedpemr na entmang eticfilmswereprepraedbyCO-sputteringcompositetargetsandpureSm targets． EffectofSm contentna dannealingtemperatureonthefilm microstructureandmang eticpropertiesoftheSm．Cofilms wasinvestigated．Theresultsindicatehtat：hteannealingtemperatureplaysna importantroleinthefilm texture．Ⅵqth hteincreaseofhteannealingtemperature，htetextureofhtefilmsisenhnacednadthecoercivityisalSOimproved．With hteincreaseofSm content，hteprecipiattionisehn nacedtofomr uniofmr films，whichCna improvehtecoercivity． Keywords：Rareearth；Thinfilm；Coerciveforce；Microstructure 随着半导体加工技术的不断进步，人们开始利