基于电光材料DR1%2fSU-8的电光开关研究.pdfVIP

第五届伞国颦料光纤、聚合物光子学会议论文集 中国·长春2009年8月17同一20同 基于电光材料DRl／SU-8的电光开关的研究1 李涛陈长鸣高磊王菲孙小强张大明‘ (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区， 吉林大学电子科学与工程学院，长春130012) 量比为5wt％，制作了矩形光波导，并在其上制作CPW行波电极，进行电晕极化，得到极化聚合物 电光开关，并对电光开关的性能进行了测试。 关键词：DRl／SU．8材料；聚合物光波导；聚合物电光开关 0引言 光开关是光通信的关键部件，可以实现光束在时间、空间、波长上的切换，在光网络中有许多 应用，是光通信、光计算机、光信息处理等光信息系统的关键器件之一。目前用于制作电光开关的 材料主要有半导体材料、无机材料和极化聚合物材料。和半导体材料、无机材料相比，有机聚合物 材料具有易于加工、折射率可调、传输损耗小、电光系数高、电光响应速度快等优点【lJ，成为国内 外研究的热点材料。 本文将实验室研究较为成熟的DRl／SU-8材料做芯层，用SU-$和实验室自主合成的 波导上制备了CPW行波电极，经过线状电极的电晕极化使生色团分子DRI取向，得到电光开关， 得到电光开关的初步测试效果。 1电光材料 发展而来。它在近紫外光范围内光吸收度很低，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的图形；SU-8胶不 导电，在电镀时可以直接作为绝缘体使用；它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性： SU-8胶还有较强的自平整能力旧刈。 我们实验室所采取的SU-8胶固化工艺为：旋涂3000转20秒；前烘65C10分钟，90。C20分钟； 溶剂，为曝光反应提供催化剂；曝光使胶发生光化学反应产生酸催化剂；后烘使曝光区域的胶发生反 应，得到交联的SU一8胶结构曲1。如果通过光刻得到图形还需要进行显影，用SU-8胶配套的显影液 PGMEA显影90秒。 我们将生色团DRl直接掺入到SU_8与稀释液的混合溶液中，形成主客掺杂型电光材料DRl／SU-8。 质量比的增大，波导的通光损耗逐渐增大，材料的电光系数也逐渐增大，所以我们必须通过优化取 一个适当的掺杂比。为了尽量提高材料的电光系数，我们选用的掺杂质量比为5wt％。 2波导的制作与通光测试 我们所采用的波导制作工艺为：在硅片上旋涂一层SU．8材料做下包层，再旋涂一层SU．8材料， 通过光刻、显影，得到凹槽，然后将DRI／SU．8材料灌入凹槽中，但是在芯层上方会留有一层平板， 为了达到更好的通光效果，需要用反应离子刻蚀的方法把平板刻蚀掉。然后在上面旋涂一层我们实 1国家重点基础研究发展规划(973)项目(项目号：2006CB302803)资助 ‘通信联系人：张大明Email：zhan,qdm@,ilu．edu．cn电话：043l 170 第Ⅱ居全国塑料光纤、聚台物光f学会Ⅸ论文集 中国·长春2009年8月17R—20R 验室自主合成的PMMA—GMA上包层材料。最终得到了截面结构为准矩彤的光波导。 波导的侧面结构示意图如图1所示．国2为所制备的SU-8凹槽的侧面显微镜照片。从照片中H 以看出，所制作凹槽的侧壁陡直．尺寸符合设计要求．形貌较好。 图I波导截面示意图 图2口槽侧面显徽镜照片 我们采用的是近场输出光斑测试系统对波导通光情况进行测试。在测试中我们利用一个1550nm 波长激光输出的半导体激光器作为光源，通过光纤连接器将光祸合进托锥光纤，之后在显微镜及摄 像机的监视下通过五维精密微动台将光渡耦台进入所制作的聚合物光波导中．在另一端通过物镜将 输出光斑放太，并利用红外摄像机对光斑进行监视。图3是Y分支波导在O2mw功率的输八倩弓光 下得到的输出光斑。目4是M—z型波导在0 2胛功率的输入信号光下得到的输出光斑。 潼涵鋈邕蚕鑫溢菇。l__o。i．誊二j M 翻3Y分支波g的精m*信号 蚓4 Z被目的输出光情号 3电光开关器件的制作与