應用像散法於顯微鏡自動對焦之研究的论文.pdfVIP

虑用像散法於颓微镜自勤封焦之研究 李建典坤许巍耀z陈念祖z何承舫1陈柏睿1睐峰志3睐建人4 1园研院俄器科技研究中心助理研究员 上固研院俄器科技研究中心副研究员 j固研院饿器科技研究中心研究员兼俄器工程组组畏 耳园研院儇器科技研究中心主任 11 木E．mail：alf@itre．org．tw鼋话：03．57799 摘要 本研究目的在於设计阳骚一高敏感、即畸快速之自勤封焦颓微桧测系统，整合像散封焦 原理及颓微取像榆测功能，赏现在封焦耗畸O．3sec内迤行缘上快速柿描榆测蓝同畸连到微 封焦模组可直接加装於原有的光孥颓微取像俄器中，像散现象将舆待测物光程位移祷换成反 射光斑形状燮化，由四象限光盛测器(four quadrant 状蒋成封焦误差言Rl我。透遏光学分析软胜逛行本系统光斑形状舆位移燮勤量的阴像模撮，再 error 以寅除架耩所赏验得封焦误差氰豌(focus 者比较，最後以棵季位移针做岛系统性能校正测试参考棵季监评估探讨本系统之解析能力、 重现性舆缘性可量测筢图。 嗣键字：自勤封焦、颓微检测、像散法、四象限光感测器 方法基於图像魔理理擒封固像有阴资讯造行 一、前言 分析计算，然後根掠控制程式驱勤雹橇，调 随著科技的造步舆骚展，虚品的品赏在 整系统位置使之季罐封焦· ．· 激烈的商桨兢争中成为泱定性的阴键因 本文魔用像散原理逛行颓微镜组之自勤 素，而虚品品赏良窳的客靓棵苹便取决於颓 封焦研究。在泛用型颓微镜组平行光段置入 微缺陷桧测。一般的颞微光学靓测装置，如 自勤封焦模组，以主勤方式骚射一雷射光 颓微镜，大多抹用手勤封焦的方式调整镜颈 束，经一柱面透镜组，使待测物表面反射之 舆待测物之蠲的距雄，常舍因手勤调整的结 雷射光，因舆焦黠前後位移差量，所虚生不 果不季罐或太慢而降低桧测效率。而现代颞 同光斑形状之像散燮化，藉以推求符测物之 微榆测之麾用往往需有畸效性，因此如何辅 雄焦量。本文提出之颓徽镜自勤封焦原理所 以快速且翠罐的自勤封焦功能，是目前工棠 揉用之像散法的侵黠是自勤封焦速度快且精 颓微镜所期待朋骚的目棵。 度高，主要愿用於具有逋耆反射率之待测物 傅统的自勤封焦技街较多探用测距 髓，例如，面板虚桨常用之玻璃基板舆其鼋 法，即通遇测出物距，由镜顼方程求出系统 路。本研究主要可分鸟下列畿项步骤：1)光 的像距或焦距，乘调整系统使之魔於单罐封 学设计舆分析，2)光橇鼋设计舆袋作，3)系统 焦的状憋。随著现代针算技街的袋展和数位 功能验镫。光学设计舆分析的主要工作岛： 固像魔理理擒的日益成熟，自勤封焦技街逢 光学系统架耩建立、光孥功能分析，光学系 入一侗新的数位畸代，越来越多的自勤封焦 统参数僵化舆光晕元件规格罐锶：光栈雹彀 针舆裂作之主要工作则有：光橇设计舆裂 焦信豌。固(4)舄模撅熏像差之各倍率物镜 作、橇鼋设计舆裂作舆系统组装。 二、理擒分析 倍物镜之各参数焉僵化目棵，所得之有效封 焦匮域约岛+100uln。由分析结果可知：小倍 本研究探用自勤封焦原理焉像散法，假 率的物镜有比较宽赓的缘性匮域