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第20卷第4期增刊 仪器仪表学报 1999年8月
声表面波传感器及其应用
施文康 刘 艾 蔡萍杨 明 (上海交通大学上海20f0030)
摘要本文简要地回顾了传感器与传感技术的发展历史和埋状，指出微传感器是当今世界的发展潮流。声表面波传感鼹是微
型物陛型传感器的一个分支。由于它所持具的众多优毂和广泛的应用前景，引起了世界各发达国家科技界、产业界的墩太兴
趣．成勾近十年来开发研究的热点之+。本文着重叙述r声表面渡传感器的基本工作原理、基本型式、主要特点以及d在各个
领域中已经和可以预见的成崩，从而可看出它将在信息产业中所起的重要作用，
关键词声表面波传感器 微传感器 延迟线型 谐振型 目标汉别标记气敏侍感器扭矩测量 一
AbstractThis the ofsensor that
paperbriefly up—to—datecurrency OUt microsen-
surveys technique．It
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Wave(SAW)sensoris ofthe in
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This describesthe characteristicsand the and be ex-
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in field，therefore rollin is
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amplesmany its，important industry
displayed．
wordsSurface
Acoustic
Key Wave(SAW)Micro—sensorResonatorID Gas--sensor
Delay—line Tags
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Torque
与生产水乎高低的重要依据。正是由于世界各
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