周期性极化铌酸锂（PPLN）的微拉曼研究.pdfVIP

第五届全国光子学大会会议论文集 第四分册：微纳光学与光电子 周期性极化铌酸锂（PPLN）的微拉曼研究 18 张 耘 西南师范大学物理学院 重庆，北碚，400715 摘要：周期性极化铌酸锂（PPLN）的周期性极化比在其应用中有极其重要的作用。因此， 在制造过程中需要很好地控制。微拉曼技术以其非损伤性、良好的空间精度探测极化区域 边界位置，可以进行过程控制、退极化研究。 关键词：周期性极化铌酸锂、微拉曼技术、极化区域边界、拉曼准模式、空间电荷场 0 引言： 铌酸锂 (LiNbO3)由于其良好的光电、声光和非线性性质被广泛地研究和应用。自 Armstrong et al 1 提出以准相匹配 (QPM) 达到最高的非线系数，周期性极化结构(PP)被研制以满足QPM 所需要。 周期性铌酸锂 (PPLN) 广泛地应用于可见光范围相干光源的制造。我们提出通过微拉曼技术完成非 2 损伤性控制晶片上的极化区域的可能性。极化区域边界的检测是利用一个拉曼准模式 ，其产生是 由于激光探针引起的光致折射的空间电荷场。 1正文： PPLN 结构是通常电极化过程制作的（见图 1）。 极化反转区域从联有LiCl 液体电极晶片表面开 始形成的。 在准相匹配的情况下产生次谐波振荡的变换效率是与 PPLN 结构的周期比相关如极化区 域边界的位置 (DW)。 极化之后, 极化区域能以化学的蚀刻显示或以非损伤的技术例如SNOM 探测。 242 18 Email : yzhang@swnu.edu.cn 第五届全国光子学大会会议论文集 第四分册：微纳光学与光电子 在这里我们证明微拉曼探针可以同样作为工具检测DW。 tension pulse photoresist E LiCl LiNbO3 图 1。 PPLN 结构的电极化制作过程 图2。空间电荷场E sc 建立于极化区域边界 当激光光线平行极化方向传播并且聚焦于 DW 的时候, 光电伏打电流在相邻的极化区域中以相 反的方向流动 (图2)。因此,空间电荷场建立于光束腰部附近垂直于 DW. 如果激光光线的偏方向与 -1 空间电荷场成30°角, 形成拉曼准模式,一条强外加谱线出现在拉曼频谱的614 cm 的位置 (图3)。 穿过 PPLN 结构对这条外加谱线的强度扫描可以使我们观测到极化区域边界的位置，其精确度小于 0.5 μm (图4)。 243 第五届全国光子学大会会议论文集 第四分册：微纳光学与光电子 1600 576 cm-1 Measurement 1400 Normal li