离子束辅助技术在高率激光薄膜中的应用.pdfVIP

维普资讯 第4l卷．第 lO期 激光与光电子学遵展 Vo1．41，No．10 2004年 1O月 Oct2Oo4 离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用 张大伟 张东平 范树海 王英剑 邵建达 范正修 (中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800) 提要 从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面，介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用 优势以及存在的问题。 关键词 激光技术 离子束辅助技术 高功率激光薄膜 ApplicationofIon-assistedTechnologyinHighPowerLaserFilms ZHANGDawei ZHANGDongpmg FanShuhai WANGYingjina SHAOJinada FANZhengxiu (ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcdemyofSc／ence8，Shanghai201800) Abstract From ioncleaning， ion-assisteddepositionandionposttreatment, theapplicationbackground, meritsandthe problemsofionasssitedtechnologyforhighpowerlaserfilmsareintroducec[ Keywords lasertechnology ion-asssitedtechnology highpowerlaserfilms 1引言 是因为它们有着共同的装置，如图 性的光学薄膜不但与其 自身的沉 l所示。离子束辅助技术从不同角 积工艺有关，同时也与基片的抛光 激光薄膜是激光系统中不可 缺少的基本元件，其质量和性能是 度解决了高功率激光薄膜制备中 水平 以及基片镀膜前的最终处理 的一些问题，但也引入了一些新的 技术密切相关。从实际使用情况来 影响和保证整个系统性能的重要 因素。在激光技术迅猛发展的几十 问题。为此国内外学者从理论和实 看，国内提供的激光薄膜的损伤阈 践上进行了研究，希望能深入认识 值仍然与国际先进水平有相当大 年里，激光薄膜起到了保障和推动 引入离子束技术的优点和弊端 。并 的距离。对基底表面的清洁技术研 作用。而激光技术的迅猛发展又给 最终扬长避短，将其成功应用在高 究的不够深入应是造成差距的一 激光薄膜的研究和发展注入了新 功率激光薄膜的制备中。 个主要因素。国内未见这方面的深 的生命力。激光惯性约束聚变装置 入研究报告。但国外对这方面的工 是规模最大的一类高功率激光系 艺研究一直也没有停止过，而且已 统装置，如美国的诺瓦 (Nova)装 经作为提高薄膜抗激光损伤强度 置、国家点火装置 (NW)，中国的神 措施中的一个有机组成部分。 光系列装置等，其中都包含有大量 激光器件和光学元件JI【。这些高功 为了获得清洁的基片。在使用