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微电机研究的最新动态与应用展望 李朝东 (上海大学，上海200072) 摘要：针对厘米至毫米级微电机，综述近年来国内外在微电机方面的研究进展，展示微电机的应用领域和潜 在的市场前景，指出发展微电机尚待解决的主要问题。 1引言 当前我国以及世界许多国家正在积极推进微电子机械系统(MEMS)的研究和开发，一场新的 工业革命即将掀起。这项建立在微电子技术和精密工程基础上的新兴技术，将把人们带入以往难 以想象的崭新境界，给生物、医学、信息、航空航天、国防和人民生活等许多领域带来重大变化，对国 民经济和社会发展产生巨大的推动作用。 无论是微电子机械系统的加工、制作和装配所必需的工具、装置，还是应用在各个领域的微机 器人、微机械手等微电子机械系统本身，对微小物体的操作是其最重要的任务之一。能否灵活、精 确、多方位地操作微小物体是评价微电子机械系统或微操作装置优劣的重要性能指标。因此作为 动力元件的微电机是其中最为核心的部件，也一直是微机械领域研究的焦点之一。 本文首先论述微电机的基本特征和开发特点，接着介绍几种国内外最新研制的产业化前景较 好的微电机，给出典型的性能参数，然后描述微电机的应用前景，指出技术上还存在的难点与发展 趋势。 由于微电机的品种繁多，应用场合也是千差万别，本文无法一一详尽描述。本文侧重于具有一 定功率的，类似于普通电机功能的、主要尺寸在1cm以下的微电机，不包括仅局限在很短行程中工 作的，或用微电子工艺在芯片上制作的微驱动器。笔者认为1mm以下的微驱动器似乎更容易在生 命科学领域取得突破，因此也不作为本文的讨论对象。 2微电机的基本特征和主要类型 常规尺寸电机是以各种电磁电机占据主流，另外还有液压和气动电动机等。将电机微型化可 以通过两条途径。一条是驱动原理和结构沿袭已有的中小电机，并加以微型化。如目前广泛用于 磁盘驱动、摄像机、电动玩具以及办公自动化机器中的步进电机和直流电机。另一条是采用新的功 能材料开发新的驱动原理，制作成各种结构型式的微电机。如压电超声电机、静电电机以及利用形 状记忆合金、超磁致伸缩器件、层叠式压电振子、人工肌筋等开发的各种微驱动器。 在微机器人、精密工程、航空航天等各种应用的领域，微电机兼有驱动和精密控制双重功能，驱 动可以是直线、旋转或多自由度的；控制目标可以是位置、速度或力(力矩)。因此从应用的角度 说，微电机应当满足如下基本的性能要求：在体积小重量轻的前提下，能产生较大的运动位移量，并 输出较大的功率；功耗小；控制精度高；响应快。这也是微电机区别于一般常规电机和其他微驱动 器的基本特征。既满足上述要求，又能达到某具体的结构或功能目标，是微电机设计开发所必须解 决的共同课题。 电机的微型化给制造、装配带来困难的同时也带来前所未有的好处。例如，可以使用原来大尺 一76— 寸电机因成本等因素而难以考虑的特殊材料；薄膜、块体等异型结构材料容易制备获得，等等。正 因为如此．微电机的结构形式和种类极为丰富。目前已出现的微电机的主要类型有：静电式、电磁 式、超磁致伸缩式、压电式、形状记忆合金式等。其中，静电式和电磁式的转子／定子间为非接触驱 动；形状记忆合金式为直接驱动；压电式和超磁致伸缩式为接触式驱动，并具有保持力。 压电材料是制作微电机的理想材料。因为压电材料仅加电场就能自己产生变形。压电性薄膜 可以通过许多途径获得，方便地制成微小主动结构体。利用压电材料制作驱动器有三种方法…： (1)利用压电材料本身的变形，在极小行程下(¨m以下)工作； (2)应用杠杆原理或与弹性体结合成复合结构(如：双压电晶片、兰杰文振子)，扩大压电材料 本身的变形(几百肛m以下)； (3)将压电陶瓷产生的变形设法无限延长。这主要有三种类型，利用共振生成行波或驻波的 超声波电机，组合成箝位结构的蠕动式电机，利用惯性停／滑原理的惯性式电机。 微电机中，压电式和电磁式输出功率较大，产业化前景较好，也是国内外研究的热点。下面就 以此为重点介绍国内外的研究现状。 3微电机的国内外研究现状 3．1电磁微电机 尽管在超微电机中静电电机受到越来越多的青睐，但在cm～mm级电机中电磁电机仍享有优 势地位。电磁微电机的主要特点是可以低电压驱动，与电子电路匹配良好，可以利用成熟的技术和 工艺等。关键问题是如何从结构、性能上克服电磁电机的微型化带来的不