SPAM轻敲模式下赫兹接触模型的COMSOL模拟.pdfVIP

第28挂第6Ⅻ p学技术 2009≈I2H SPAM轻敲模式下赫兹接触模型的COMSOL模拟 姚文刚，程茜，钱梦醵+ ，目#^}十}“R目．J．2…) COMSOLSimulationofHertzContactModelin 0fSPAM YAOWen gan目CHENGQlall，QIANMengqu’ 引言 SPM技术的发展标志着材料微观尺度的检测 上升到新的高度，而近些年来，SPM技术已从微区 特性的准静态检测迅速发展成种全动忐检测技 术，扫描探针声显微镜(SPAM)心运而生，小史 月1 sP^M§‰《《#■、#目 中SPAM系统是在探针上施加声振动来实现村料微 Fig】㈣】cdW聊of“Ps^呻lec0“$m删【nSPAMF咖 区动态力学特性成像的近场声J】笠像技术”01，它可以 由于赫兹接触模型分别只在针尖和试样上某 实现纳米尺度上材料表面和Ⅱ表面的力学性质的 检a峨像。 很小区域内产生较明显的应力和J甘蹙，田此对该 区域附近的网格划分时进行细化处理，提高求解的 当环境姓度较小时(=4㈣)，探针与试样接触 准确性。 的过程可近似看作是赫兹接触”』。为了能更深入地 在上进模型设置中，操针以氯化61j(E1236 n样SPAM的成像机理，有效地指导实验操作，木 文利用COMSOL对赫兹接触模掣进彳：j二彳『限几数值 模拟．初步分析试样应力麻变的分柑、接触半径、 种试样之间，金刚石的杨氏模最最大。 刻琅谦度与试样材料特件之问的筅系。 奉立将对模型采削静态分析，即在探针针尖顶 2有限元模型的建立 部施加同一恒定的作用力脚4nN，分别对打墨和 金剧石两种弹性模最差异悬殊的试样进行计算模 SPAM系统中的探针近似为一咧锥，其针尖近拟并分析受力发应变情况。 似为一圆球，因此通过轴对称可以较好地模拟探针 针尖的形状，并减少建模和计算的工作量。然而丈 3计算结果及分析 部分情况下试样井非标准的圆柱体，但是和针尖的 31应力分布 尺寸相比试样可看作半无限媒质，因此在数值仿真 的过程中．假设试样为圆形无限大，实际计算的试 嘲2和罔3分别是以石墨和金H0秆为试样时的 样为有限大小．但在底部和侧面设置吸收边界以模 竖直方向的法向席力的分布情况，两种情况F掐{针 拟无限太的尺寸。本文中试样半径为50tim，高50与试样的戍力分布类似，0I是由于二种试杆物氏模 ilra，探针半径为10咖。如图l所示 詹的萍异，在相同外力的作削F，戍力幅值的大小 有所小旧。 “”嚣：：麓产“。”7…”“”““。 麓‰．絮嚣嚣：07攀i鬻氅”“ 声学技术 2009正 FLg㈨口口一qdⅢamd目删k)