Ni薄膜热敏电阻地研究.pdfVIP

第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月 Ni薄膜热敏电阻的研究+ 闫卫平1 席文柱1 邝永变1 杜立群2 1(大连理工大学电子系 大连 116024)2(大连理工大学微系统研究中心大连116024) 了电子探针微分析(EPMA)，得到了Ni薄膜横截面的线分析谱线，并对Ni薄膜表面结构进行了较深入的分析。 关键词 热敏电阻Ni薄膜电子探针微分析(EPMA) The onNiThinFilmThermalResistor Study Yan XiWenzhul Du Weipin91 KuangYongbianlLiqun2 ofElectronic 11 1(Department Engineering，DalianUniversityofTechnology，Dalian6024，China) 2(ResearchCenterforMST，Dalian Univ．ofTechnology，Dalian AbstractTheNithinfilmthermalresistorisfabricated itsTCRis5．7×10。3／℃． bymagnetronsputtering，and EPMAofthesurfaceandhorizontalcross—sectionofNithinfilmare Then，the obtained，andthe analyzingspec— trum thehorizontal lineof cross—sectionofNithinfilm，whichleadstoamore ofthesurfaceof profoundanalysis Nithinfilm． wordsThermalresistorNithinfilmElectron Key probemicro—analysis(EPMA) 要在镍和镍铬薄膜与硅衬底之间进行电绝缘。主要制 1 引 言 作工艺如下：(1)采用热氧化法在硅片两侧生长SiO。 薄膜式温度传感器广泛应用于各种分析测试过 程。Pt薄膜热敏电阻由于具有尺寸小、响应快、测温范 围宽、精度高、易于与集成电路相匹配等特点，在很多 出镍薄膜电阻；(5)在镍薄膜上蒸发淀积铝薄膜；(6)刻 领域得到广泛的应用口“1。但是，由于铂是一种贵金 蚀铝引线；(7)热压键合金丝引线；(8)分析测试。 属，所以其应用受到限制。在其他的热敏材料中，镍薄 膜具有良好的热敏特性，且制作工艺简单，灵敏度高， 仪器，检测时所用的电子加速电压为15kV，背散射电 测温范围也较宽，在常温到350oC间有较好的重复性。 子成分像的电子束径为由100肛m。 由于电阻薄膜的成分和结构敏感地依赖于制造工艺条 件，所以，这里采用磁控溅射技术制备镍薄膜，并对其 3结果和讨论 形貌和结构进行了分析。 3．1 Ni薄膜的EPMA 2实 验