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2017-08-16 发布于安徽
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微针执行器的研究 !DB( 秦宁!赵湛!陈绍凤!夏善红 ! ! 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室!北京 # #3 $ +1QD7LJ8:HGI P978 @D.:I.K8 ; ; 摘要!设计和采用 *+*,工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器%执行器的结构包括微针通道反应室电极以及永磁微阵列等%通过外部磁场可以实现双向线性驱动%本文主要介绍了利用光刻胶材料!采用多级曝光实现结构的工艺技术!研制出了微针执行器的雏 ,Z13 2 形器件%微针的尺寸为 / QU3 QU! Q!微针孔径截面为$ QU$ Q!并给出了,+* 分 $ $ $ $ $ 析的研究结果% 关键词! 胶’微针执行器’ ,Z13 *+*, 中图分类号! c 文献标识码! 文章编号! # $ % -($0# ! % #/0#1!00/$2 031!0!12 ! ! 1,1(0)9-!DB3 901,+,/+)0B()#(0 3 ! ! ! jA5 578 =X%W =D8 ’X+5 ,D:1OG8 ‘A% ,D81:8 ; ; ; ! ! ! ! # 4(()U) !#$,($, $ /,-53B+),/)+0-$*$ A-5(.(B()$ O*)+(,$-.+5 70.-M+3)6 $ 4+.)-+)5 C)..- #3 70.- 2 2 % 12 % 2 % D 1 $ 45,0() % Q7KI:9DQ L78 DKP@DP:IMI7NG8R GLGKPI:QD8GP7KO:IKG79MG978GMD8MODRI7KDPGMR F ; ? ; ; ? ! ! ! *+*,PGK8:L: .AP78KL@MG9Q7KI:8GGMLG Q7KI:KD88DL IGDKP7:8KDQRGI GLGKPI:MG9D8M GI1 ;? F QD8G8PQD8GPDIID.APKD8RGMI7NG8R7M7IGKP7:8DLL D8ML78GDIL R PGQD8GP7KO7GLM:@P97MG. ; ? ?