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MgO膜在大气氛中若干物理性质的变化 顾智企章爱民倪杰孙伯彦 潘海茵 (浙江大学信息显示研究皇310028) 摘要本文通过对刚制备获得MgO膜和在大气氛中放置168小时后的MgO膜分别 进行表面形貌、透射率和二次电子发射系数的观察和测试，比较其结果，表明MgO膜在大 气氛中上述物理性能会发生变化，分析其变化产生机理并提出抑制其变化的措施，这对 MgO膜的使用者是极为有益的。 一、引 言 MgO膜由于不但具有相对好的光学特性、机械特性和电学特性，还具有一些独特性能， 发射系数(71=o．55)、且价格相对低廉。因此近年被以电薄膜形式应用于一些新型电真空器 件，如平板CRT的通道壁和选择板以及PDP的保护层涂复MgO膜后获得好的二次电子， 投射，提高了器件光电性能和寿命，效果极为显著。 MgO膜的特性取决于它的割备技术、成膜参数和它的微结构，研究人员为获得满意的 MgO膜特性进行了大量研究，取得成果。我们在MgO膜的实际应用中发现它暴露在大气 氛中，其性能发生恶化．这方面的研究尚未见报道。本文通过实验观察和测试该膜在大气氛 中性能的变化，分析其原因，并试匿采取措麓．抑制其变他。 制各样品在DMF一700真空镀膜机中进行，该系统采用电子束蒸发技术镀复M90膜， 基扳为2ram厚光学玻板·蒸发靶源为光谱纯MgO。对靶源充分除气，在系统真空度不低于 9X 在薄膜沉积过程中，基板温度保持在300～350 C。镀膜毕，待其冷却后取出样品。 三、实验结果和讨论 本实验旨在研究MgO薄膜在大气氛中若干物理性质的变化，故实验首先将镀膜系统 中取出镀MgO膜玻片立即进行有关观察和测试，然后将玻片放入温度25℃湿度80％的恒 温恒湿箱中掘置168小时，再重复上述观察和测试，并进行比较。膜性能观察和测试项目为 表面形貌、透射率和二次电子发射系数三项。 123 3．1表面形貌 用惠铙观看MgO膜的表面形貌。图l(a)和(b)分别是镀膜系统中刚取出镀MgO膜玻 片和在恒温恒湿箱中搁置168小时镀MgO膜玻片喷金后表面的扫描电子显微照片。可以 看到。两膜层的品粒大小基本相同。区别是前者晶粒边缘清晰，后者边缘较模糊。用肉眼可以 看到新MgO膜表面有光泽，暴露空气长时间后膜的光泽消失。 圈lMgO膜的表面形貌 ta)新Mgc)膜表面形貔SEM照片(b)搁置后MgO膜表面形貌SEM照片 3．2透射率 用分光光度计测试MgO膜在可见光波段(300～ 800rim)的透射率。图2为真空系统中剐取出M901膜和 大气氛中放置168小时后MgO的透射曲线。比较两曲线 可见，后者透射率大为下降，用肉眼也可明显看到原透明 的膜层在空气中一周后变成半透明。 3，3二次电子发射系数 测试MgO膜二次电子发射系数7。是将镀膜玻板置 于平板气体放电管中充以Ne为主的惰性气体后测其 (a)新MgO膜透射率曲线 着火电压vf间接表征。测试参照文献1列出的方法 (bJ大气中拇置后M2(J膜透射事盛线 进行计算．即利用下式由Vf得知X： 1 1 Vt={如(1+}) 式中1为当量电离系数。 由真空系统中取出镀MgO膜玻片立即封入气体放电管中测得其着火电压Ⅵ为92 伏．搁置大气氛中7昼夜的Mgo玻片制得放电管的若火电压V【为125伏．由上述式计算得 前青二次电子发射系数约为0．53，后者的二次电子发射系数约为0．31，这表明暴露大气氛 o≈MgO膜一次电子发射性能大为减小。进一步实验还表明，MgO膜暴露大气超过2月．其 ■次电子发射性能几乎丧失．二次发射系数接近0。 上述三项测试表明，MgO膜搁置空气中其表面形貌、透射率和二次电子发射系数都发 生了变化，从下述两个方面对产生该变化的机理予以研究。 首先是关于MgO膜表面态的变化。对新MgO膜进行俄歇电子谱(AES)表面成分分 帮『．从表面成分谱圈可以看出，MgO膜中存在着Mg、O、C元素．C元素显然是真空泵油蒸 发