MEVVA源离子注入陶瓷刀具表面改性探究.pdfVIP

MEVVA源离子注入陶瓷刀具表面改性研究 彭志坚，奎塞造，苗赫濯，石峰 (清华火学材料科学与工程系，北京100084) 摘要：首次采州金属弧(MEVVA)源对氧化铝、氮化硅等陶瓷刀具进行了注入金属钛、 锆和铬离子改性研究，确定了注入剂量与陶瓷刀具性能的之间的关系。改性后陶瓷材料表 观纳米硬度、杨氏模量和抗弯强度分别最大增加51％、41％和66％，刀具寿命比改性前提 高2．12倍，具有诱人的应用前景。 关键词：陶瓷，刀具，MEVVA，表面改性 1．前言 陶瓷由于高的硬度和高温强度、抗蠕变、高的抗氧化性能和高温化学稳定性好等特点 在新型高技术材料中倍受青睐，但由于其化学键局限和制各过程中的微裂纹和缺陷等原冈 具有表面断裂敏感性，表现出低韧性、低拉伸强度、低抗弯强度等缺点，材料可靠性和重 现性低，而一些材料磨损系数相对较高、磨损行为欠佳、抗热震性能不足等问题也限制了 材料的使用1“31。 离子注入作为一种在固体表面层直接引入离子的重要表面改性技术，能将所需元素离 子在儿十至几百千伏电压下注入到陶瓷材料表面，在零点几微米的表层中增加注入元素浓 度，通过非平衡态材料辐照损伤和化学效应等途径使陶瓷组成和微观结构以一种可控方式 改变，从而强烈地影响离子注入后的陶瓷表面力学性能。是陶瓷材料增韧、提高耐磨性、 增强膜基粘结能力以及其他特殊表面特性的重要途径之--1。”。 由于陶瓷的力学性能对表面非常敏感，作为切削刀具主要的失效机制是脆性断裂，它 严重制约了陶瓷刀具性能的提高。而离子注入则是改善这些性能的有力工具B】。许多文献 [4-71讨论了氧化铝和氮化硅陶瓷离子注入后微观结构和表面力学性能的变化问题，但用强束 流MEVVA源注入机对陶瓷进行改性的报道很少p。1”，用离子注入对陶瓷切削刀具进行改 性的研究未见报道。 ． 本研究采用MEVVA强流金属离子源注入机，系统研究了氧化铝和氮化硅陶瓷刀具在 分别注入不同剂量钛、锆、铬等离子后材料组成、微观结构和力学性能的变化，重在提高 氮化硅和氧化铝陶瓷刀具的耐磨损性能和使用寿命。 2．试验 采用MEWAII-H离子源对陶瓷刀具进行离子注入表面改性。所用加速电压为40 kV，平均离子流强度2．5～3．5rnA，基底真空4xl矿Pa。 基体材料为高纯细晶氧化铝和热压氮化硅陶瓷刀具。样品注入改性前经机加]：成国际 1204 08(12．7x12．7x4．76 标准形状SNGN rnm),用作强度测定的试样加工成3×4X30试 条，并抛光，其中最后一道用O．5lun金刚石研磨膏；用作组成、结构和纳米力学性能分析 0．02 的样品表面用金刚石研磨膏抛光至样品平均表面粗糙度Ra pan，以便在注入后进行纳 米力学性能表征。所有样品在注入前均先经过常规清洗和超声清洗。 注入金属元素有三种：Ti、Zr和Cr。选择它们的主要原因是这些金属可在注入陶瓷扁 形成高硬度、高模量以及高韧性化合物。其名义注入剂量分别为5×10“，I×10”，2×10”， 5×1017和1×10‘8ions／cm2。 3．试验结果与讨论 3．1金属离子注入后陶瓷材料的组成与结构 从外观上看，陶瓷样品分别注入钛锆铬离子后表面均具有淡黄色金属光泽。光学显微 镜观察表明，机加】：样品表面粗糙，不能反光，经离子注入处理后光洁度显著提高，抛光 洋品经离子注入处理后表面仍然光滑、平整，虽然光洁度有所下降。通常，离子注入陶瓷 nln，在机加工陶瓷上进行离子注入处理后其Ra也能达到 抛光样品表面平均粗糙度Ra50 200 nm以下。SEM观察也表明陶瓷刀具因机加工等原因导致的表面缺陷得到修复和缝合。 改性后刀具光滑的表面为减少刀具表面微裂纹扩展机会、降低摩擦磨损及摩擦系数、提高 刀具切削精度、延长刀具切削寿命都非常有利。SEM观察还表明，离子注入后在陶瓷亚表 面冈为辐照而形成一接近I岫的致密层，这有利于提高陶瓷刀具的硬度和杨氏模量。AES 和RBS深度分析表明，注入离子在陶瓷中的深度分布为50～350nm。 SEM．EDS元素面分析表明，注入元素在陶瓷表面分布均匀，没有偏析现象，陶瓷基 体中的原有元素也分布均匀。XPS分析