四象限光电探测用于二维小角度测量地研究.pdfVIP

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2017-08-16 发布于安徽
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四象限光电探测用于二维小角度测量地研究.pdf

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四象限光电探测器用于二维小角度测量的研究钱建强惠梅王东生清华大学精密仪器与机械学系北京 ! ###$% 摘要介绍了利用高灵敏度四象限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统详细分析了其测试原理及实验装置测试系统利 ’ ( 用半导体激光器做光源采用了偏振分光器件结构小巧能量利用率高具有较高的测量精度为小角度测试技术的研究提出了一 ’ ’ ’ ’ ( 种新的方法( 关键词四象限硅光电探测器半导体激光器二维小角度测量 )*+*,-./ 01 23,4567+ 89,445:;4* *,+3-*9*:=,+*? 0: @7;/ 8*:+7=7A7=B C3,?-,:=2*=*.=0-+ DEFGHEFGIEFGJ KLE MNE OFGJPQGJRSNGJ ! W ’ ’ pqqqrs’ TUV XYZ[U\]^]X_‘_^a[bcU_ad_efU\gd_XhXij k^]_igbdl_]mU[^]aj nU]o]_i tg]_d ’ # 5u+=-,.= vSER wFwNxEGyxQzL{NR ySN zLF|F}ER R~F||FGJ|N ~NFRLxEGJ R!RyN~ SE{S LRNR ILFzxFGyRE ’ ’ W wSQyQN|N{yxE{{N||FRySNzNyN{yQx FGF|!$NRySN~NFRLxEGJwxEG{Ew|N N}wNxE~NGyF|NILEw~NGy vSNNILEw~NGy ’ W ’ LRNRRN~E{QGzL{yQx|FRNxFRQwyE{F|RQLx{N FGzFzQwyRwQ|FxE$FyEQGRw|EyyNx %Q ySNNILEw~NGySFRFzFGyFJNR Q W ’RE~w|NRyxL{yLxNFGzSEJS wxN{EREQG vSERwFwNxJENRQLyFGN|!~NySQz’QxySNRyLz!Q’R~F||FGJ|N W ~NFRLxN~NGy # (*B)0-?+ DLFzxFGy%EwSQyQN|N{yxE{zNyN{yQxR %N~E{QGzL{yQx|FRNx PLF|F}ERR~F||FGJ|N~NFRLxN~NGy 测试系统的光学原理如图所示半导体激光器 ( 引言发出的光经准直后变为平行光然后由会聚透镜经偏 * ’ 振分光棱镜波片变成圆偏振光后聚焦到平面反