高温超导台阶结地研究.pdfVIP

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 #. =6 )#. 年 月 :0?-@,@ A;BC-DE ;F E;G H@IJ@CDHBC@ J08,?:, ， #%%’ $% ;KL ) #%%’ 高温超导台阶结的研究! ， 曹春海! 杨 名! 杨森祖! 徐筱乐 尤立星! 吉争鸣! 康 琳! 许伟伟! 吴培亨! ! 南京大学电子科学与工程系，南京 #$%%’ 南京电子器件研究所，南京 #$%%$( 在铝酸镧衬底上研制了高温超导台阶结 采用金属转移剥离技术及离子铣技术在铝酸 ) 镧衬底上刻蚀出坡度角大于 陡直台阶 结的特性与 结类似 的微波辐照下出 *%+ ) ,-, ) ) ./01 现 台阶 观察到结的高频响应有一温度窗口 ,2!3456 ) ) $ 引 言 高温超导材料在微电子器件中的应用分有源应用和无源应用两大类 与常规器件比较， ) 超导有源器件具有噪声低、功耗小、速度高、频带宽等优点) 但高温超导材料具有的内禀特性 使制备超导约瑟夫逊隧道结的工作遇到巨大的困难) 目前，国内外研究和使用的高温超导结 的形式主要有双晶结、台阶结、双外延结、高低结和微桥结等) 其中双晶结和台阶结的性能较 好 但双晶结使用的衬底不容易制备，且无法在任意位置及方向上形成双晶界面 台阶结的 ) ) 制备工艺较简单，可在衬底表面任一位置形成台阶结，很容易实现多结集成) 有不少研究小 ［ ］ 组 $ 7 ’ 采用斜角入射离子铣的办法报道了台阶结的研究结果，结的性能与双晶结的很接近) 斜角入射离子铣可增大台阶坡度角，但对多结集成不利，并且存在台阶高度及台阶坡度角控 制不好的问题 高温超导薄膜制备常使用的衬底材料有氧化镁、钛酸锶或铝酸镧 氧化镁易 ) ) 发生水解，钛酸锶介电常数高及微波损耗大 铝酸镧衬底稳定，介界电常数较适中，微波损耗 ) 小，容易生长高质量的 超导薄膜，超导高频应用时一般选用它作为衬底材料 但制备 89:; ) 陡直衬底台阶很困难 我们采用独特的离子铣掩膜，垂直入射离子铣刻蚀高坡度角台阶 本 ) ) 文报道我们在台阶衬底制备和结制备的实验结果) # 实验方法及步骤 高温超导膜在台阶边沿处超导性能发生局部弱化，两侧的超