激光划痕界面失效进程的研究.pdfVIP

激光划痕界面失效进程研究‘ 冯爱新‘， 张永康1，谢华锟2，蔡兰1 (1、江苏大学机械一t程学院，江苏， 镇江212013： 2．成都工具研究所，四川，成都，610056) 关键词：激光，划痕，界面，薄膜，失效 中图分类号：TB559 1、引言 薄膜技术是材料提高表面性能的重要F段之一。膜基界面结合性能是影响表面薄膜质量的首要指标， adhesion) 其在很大程度上决定了薄膜心用的可靠性和和使用寿命。界面结合强度有工程结合强度(practical orintrinsic 和本征结合强度(foudamental 有分子间作用力的总和，是使处r测试条件下的膜．基系统的最薄弱界面的化学结合产生破坏所需要的能 量：工程结合强度是指将薄膜从基体上去除所需要的力或功，也可表示为在特定应力状态下使薄膜剥离所 需要的时间㈣]。 目前已提出的检测膜一基界旺【i结合强度的方法有划痕法、激光层裂法、压痕法等计300多种[3】。但每 一种方法都有其局限性和尚待解决的关键问题。例如，激光层裂法采用激光冲击波层裂技术，间接测得界 面本征结合强度，但由于其检测条件较为苛刻，应用于T程实践存在工程实践环境、检测结果标定、试样 制备等诸多关键问题，目前尚处丁研究阶段；T：程实践中较广泛应用的划痕法、压痕法等大多数方法测得 的是工程结合强度，但测试结果往往受界叫本征结合强度与其他非界面因素的综合影响，这使得测试结果 往往不可靠，具体表现为同一种方法测量数据／fi稳定，不同种方法测得的数值可能会相差几个数量级，甚 至产生定性的差异。究其原冈，主要足由，：非界面因素对测试结果的影响。 可见，如何减小非界面冈素对测试结果的影响是提高界面工程结合强度检测技术检测可靠性的关键。 针对激光层裂技术与划痕试验技术的研究与应用现状，作者提出界面工程结合强度红外激光准静态 划痕检测方法14,5]。其核心思想足：以红外激光非接触热加载取代划痕试验法中的金刚石压头接触机械加 载薄膜表面；以连续波激光的准静态热加裁丁．薄膜表厩取代激光层裂法的短脉冲(2～8ns)激光高应变率 动态冲击波加载薄膜背面：在界皿结合状态检测诊析技术方面，以光声检测技术、x射线衍射技术和表面 热镜检测技术替代划痕试验法的声发射检测技术和激光层裂法的干涉仪检测技术。 2、激光划痕膜基界面失效进程 长脉冲红外激光直接准静态辐照于薄膜表面，随着激光能量或激光作用时间的增大，将在】谢基界面的 最薄弱处产生破坏。膜基界1lI：『的失效进程如图2所示。 2．1界面失配脱粘 长脉冲红外激光战用于薄膜表血，由-丁其对簿膜表面几十nlTl厚的薄层进行进行准静态局部加热以及 随后的热传导，在试样上形成温度场，并形成热应力(压应力)。由于薄膜制备过程中的缺陷，以及膜基 材料的温度和热膨胀系数不同，引起膜基界面失配，界面发生初始脱粘，如图1a所示。 临界压应力G。通常为：16J 仃。=匕jfd‰ “’ ’基金项目：江苏大学微纳米中心肝放幕金资助项II(批玳号：129t400001) 作者简介：冯爱新(1970-)，男，江靠尔台人，阱I：，1-，辨!11|j．从事激光薄膜检测技术研究。 Email：aixfeng@uj．-q．edu．c“ 一87— 式中卜一脱粘层厚度 a——脱粘层半径 E、 y——分别为薄膜杨氏模最和泊松比 K——系数 2．2脱粘层失稳翘曲、界面裂纹扩展 当脱粘层所受压应力的达到临界值时，由于受压圆盘弹性失稳和脱粘有外向内的温度梯度，脱粘层薄 片将发生失稳翘曲，如图1b所示。。 雷史哥酋皇 萄 簿 妨 d) 幽