一种测量硅片与太阳电池少子寿命分析仪的研究.pdfVIP

一种测量硅片和太阳电池少子寿命分析仪的研究 徐林陈风翔刘梅仓崔容强 上海交通大学太阳能研究所，上海，200240 摘要：一种测量硅片和太阳电池少子寿命的分析仪被提出来，解决了微波晶体管测量微波反 射功率的非线性问题。在小注入条件下，微波晶体管的电平变化与反射功率的变化成正比，从 而证明了微波反射法测量少子寿命的理论成立，还给出了实验数据，说明该种硅片和少子寿命 分析仪重复性较好。 关键词：微渡反射法光电导衰退法 少子寿命微波晶体管检波嚣 Abstract：Asetof carrierlifetime abletomeasurethelifetime0fboth minority analyzerbeing siliconwaferand solarcellis issolvedthatthereisthenon-linearof presented，it problem microwavetransistorwhichisrelationbetweenthereflectionandthe power powervoltage level，itis thatvariationof levelofmicrowavetransistoris to proved voltage propositional thevariationofthereflection onthisconclusion，thetheoreticof power．base proof microwavereflectionmethod the carrierlifetimeis the measuring constructed，in minority endofthis is and are data the done somedata obtained，all paper，someexperiments implies ofthissetOf is repeatability analyzer goodenough． reflection carrierlifetime Keywords：microwavephoto-conductordecayminority microwavetransistor 有了一套在线少子寿命监测分析装置，太阳电池的 0引言 工艺改进和提高就有据可依，并及时快速调整工艺， 大大提高寻找最佳工艺的速度，也大大节省人力物 太阳电池工艺是比较复杂的半导体工艺，前后 力财力。 有二十几道工艺过程。例如：清洗