分子玻璃光致抗蚀剂的研究进展.pdfVIP

中国感光学会2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会论文集 125 分子玻璃光致抗蚀剂研究进展 王力元 (北京师范大学化学学院，北京100875) 目前最先进的集成电路加工技术已达到45nm生产T艺，预计二年内将跨入32rim技术。在特征 尺寸低于50nm时，传统的化学增幅抗蚀剂的成像表现会遇到一些问题，包括线边缘粗糙度(LER)、 图像均匀性和酸扩散控制等，使得抗蚀剂成像表现和分辨率难以满足要求。绝大多数现有的抗蚀剂 材料都基于高分子，虽然它们拥有许多有利的特性，如无定形特性、柔性和可加工性等这些成像加 工必需的性质，由于大的分子尺寸(大约在5-10nm)，它们具有内在的局限性。一种光致抗蚀剂的 分辨率最终主要是由单个分子的大小决定的。 分子玻璃是低分子量的材料(分子量不高于1000)，在使用过程中不会结晶，可形成均匀透明 的无定形薄膜，没有粗糙边缘并显示各向同性。这些材料最近几年用于新颖的光致抗蚀剂引起了广 泛的兴趣。分子玻璃可以是单分布(大小～lnm)，具有确定的分子结构并且没有链纠缠。此外，分 子玻璃与许多抗蚀剂添加剂大小接近，如光产酸剂。由于更好的相容性，添加剂在分子玻璃中有更 均匀的分布。没有分子间链纠缠，具有单一并更小的分子尺寸，这样的抗蚀荆分子在1F常小的特征 尺寸上对于减小线边缘粗糙度有可能作出很大的贡献。 在过去的十年中，研究了各种分子玻璃体抗蚀剂，以电子束抗蚀剂研究的较多，也包括极紫外、 248一姗和i一线抗蚀剂。包括了负犁和正犁抗蚀剂，义以负型研究较多。以多酚类化合物研究较多， 不含苯环的在193nm处透明性好的材料研究较少。下面从分子结构的角度对分子玻璃抗蚀剂材料研 究作简单介绍。 1多酚化合物 1．1杯芳烃多酚化合物 由间苯二酚和芳香醛(对羟基苯甲醛)在酸催化下可得到环状杯芳烃多酚化合物，此化合物继 续与不同量的碳酸酐二叔丁酯反应，得到从60％一100％不同反应程度的酚羟基被保护的可酸分解 型化合物n1。这些化合物的T。温度在120℃左右。用粉末X射线衍射方法证实了无定形特性。反应 过程如下图所示： +天X 由此化合物与5％--苯基硫销盐光产酸剂等组成的正型光致抗蚀剂使用极紫外(El_IV)成像的方法在 作者：王力元，Email：wly@bnu．edu．cn 126 中国感光学会2008非银盐影像技术及材料发展与应用学术研讨会论文集 的聚合物抗蚀剂(12—14nm)。作者认为单分布的分子玻璃体抗蚀剂在样品的曝光区域的溶解速率相 对恒定，以更加均匀的方式显影，这样得剑低的线边缘粗糙度值。 作者用对叔丁基苯甲醛进行反应得到类似的环状杯芳烃化合物心’，继续与碳酸酐二叔J‘酯反应， 得到不同反应程度的酚羟基被保护产物。与光产酸剂一起组成化学增幅型光致抗蚀剂，采用深紫外 成像，曝光量为25．9mj／cm2，获得分辨率为40nm的图像。 较早的将杯芳烃用于光致抗蚀剂成像还包括如下一些化合物盼’，与重氮萘醌磺酸酯配合，用于 i线光致抗蚀剂可获得分辨率达l脚的正性图象。 Pdlc．如 T}IF。50屯。嘞 le；R=Acl95％) lb；R=Ts《82％’ 1．2星型多酚化合物 研究表明无定形分子材料一般具有_{F平面的分子结构。T。温度可以通过引入结构刚性的基团降 低非平面分子的柔性米提高。据此设计和合成了几种可形成无定形膜的分子抗蚀剂材料，如下图所 示¨1。以电子束成像时，分别得到高感度、分辨率达40m的负性和正性图象。 0 ＼o 0 ≮?N瞄 《 1．3树枝状(Dendrimer)多酚化合物 J．M．J．Frechet等人合成了如下树枝状的多酚化合物啼1，其端酚羟基用可酸分解的叔丁氧基碳 酸酯保