氮化镓基蓝、绿光LED中游工艺技术产业化的研究.pdfVIP

第八届全国LEI)产业研讨与学术会议论文集 氮化稼基蓝、绿光 中游工艺技术产业化研究 张书明 杨 辉 段俐宏 王 海 李秉成 (中国科学院丰导体研究所 能京100083) 王胜国 吴启保 幸裕中 胡德进 张双益 (深利市方大国科光电技术有限公司 518055) 摘要:氮化稼基蓝、绿光LE。在光显示及未来的白光照明领城具有广阔的应用前景，中国科学院半导体研究所和深11[1方 大国科光电技术奋司利用双方各自的技术优势和资金管理优势，实现了氮化稼基蓝、绿光LED中游工艺技术产业化，目前产 品已经批1上市梢落。 一 概述 氮化稼基蓝、绿光LEI〕在光显示、户外信息显示屏、交通信号灯等方面具有广阔的应用前景，用高亮度氮 化稼基蓝、绿光LEI)制成的白光』EE)取代白炽灯和荧光灯等传统照明光源将引起照明光源的革命。2000年4 月中国科学院半导体研究所和方大集团达成了国家”863计划项目一氮化稼基蓝、绿光LEI〕产业化的协议;经 过一年多双方紧密合作，于2001年10月底完成了设备的采购、安装和调试及氮化稼基蓝、绿光LEI)中游工艺 技术的转移，在方大国科公司的生产线上研制生产出了合格的产品，现已批量生产和上市销售。 二 产业化的过程及成果 在氮化锌基蓝、绿光LEI〕中游工艺技术产业化过程中，我们充分考虑实验室技术(中试)与产业化生产的 可操作性、可控性、重复性、稳定性、量产性、规模化的特点的不同，通过采购一流的关键设备、设备调试和工艺 调试相结合，相关设备联调，制定正确的实施方案和工艺技术路线等措施，在短时间内完成了技术转移任务.在 产业化的进程中，从公司成立开始，以IC I〕为标准要求做好公司的文件资料、技术工艺资料的管理及经营 管理，半导体所领导和技术人员的关心支持和方大集团的管理经验及紧密配合，加快了产业化的进程，深圳市 政府将该项目列为”十大”重点建设项目，在政策、资金和人力资源等方面也给予了大力支持。 三 产业化的成果 目前，我们已经开发生产出了适合于不同波段和不同外延片生产厂家的氮化稼基LED中游产业化的工 艺技术，可以提供390nm-550nm波段各种功率类别的紫光一蓝光一绿光LED芯片;利用特殊工艺技术开 发的透明电极光的透过率大于70%，能够承受最大工作电流大于120mA，并且满足了欧姆接触特性的要求; 生产的LED管芯的电学性能已经接近国外同时期的水平，解决克服了划片等技术难点，产品的成品率大于 85%;表一为产品的光电特性，图一为不同类型的蓝绿光二极管的电流电压特性曲线。 表一:深圳市方大国科光电技术公司蓝绿光LED光电特性参数 DC Reverse OptiealPowei DCForwardVoltageVFLV Current Output LFDColor IF-20.A IR[A]VR=5V PO仁.W] Typ. Max Typ. Typ. violet 3.5 3.8 5 1-5 hIuc 3.3 3.8 5 1-4 { 3.3 3.8 5 I一2.5 《国际光电显示技术》LED专刊 第八届全国LED产业研讨与学术会议论文集