双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备与其振动性能测试研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备与其振动性能测试研究.pdf

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中国屯子学台’98敏感技术学术年会论文集98车9月双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备及其振动性能测试研究林爱民牛蒙年解健芳杨根庆 (中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室) 摘要研究了双框架微机碱陀螺的厚度检测、控制技术，在此基础上采用本实验室 xI 自对准的准LIGA工艺制各出陀螺结构，其活动区面积为I．O Omm2，框架厚度4岫。经加电测试，已观测到低频驱动下内、外框架在空气中的振动。关键词双框架微机械陀螺准LIGA工艺测试结构 fortheFabricationof KeyTechnologies Two—gimbals Micromachined Gyroscopes Ai．min Xieand Lin，MeagnianNiu，JiarffangOengqingYang Laboratoriesof Institute (StateKey Shanghai ofMetallurgy，ChineseAcademyof Sciences) AbstractThe for and tkicknessof technologies the measuringcontrolling two—gimbals micromachin,edwere Oil Based structurewasfabricated gyroscopeinvestigatedthat，thegyroscope the hour dimensionof usingself-alignedquasi-LIGAtechnologiesdevelopedlaborator3，_The activeareaandthicknessofstructureis1．0×l0mm2and of layer vibration 4}lm，respectively．The theilmerand inair outer wasobservedandmeasured electricalatlow gimbals byapplying signal frequency． Words micromachhled Key measurement Two—gimbals gyroscopequasi-L]GAprocess S纳lctures 1 引言