低合金高强度钢（HSLA）精细组织研究.pdfVIP

电子显微学报J．Chin．Electr．Microse．Soc 17(5)：581～5821998年 581 周惠华唐国翌 闫允杰 朱静 (清华大学材料研究院，北京100084) 董翰 (冶金部钢铁研究总院，北京100081) 近年来发展的场发射扫描电镜因其束斑尺寸小、亮度高、分辨率高等优点，而日益受到研究 人员的重视。本文探讨了场发射扫描电镜在钢铁材料精细组织研究中的应用。 经机械研磨后采用“speed”腐蚀法“3显示出纳米级微细第二相颗粒和精细组织。由于所研究对象 的精细组织尺度都在纳米量级，样品表面的凹凸不平也远小于普通扫描电镜所要求的目标。因此 以往的这类研究工作必须在透射电镜下进行，这就使样品制备过程复杂，制样周期加长，因而利 用场发射扫描电镜开展这类工作是非常有意义的。 从入射电子与样品相互作用的物理过程分析可知，当具有一定能量的电子束照射到样品后 将与样品中的原子、电子产生相互作用并发射出电子。其中参与成像的二次电子有两种。其一为 信息具有最高的分辨率；其二为入射电子在样品中产生级联反应，这种级联反应发生电子能量的 传递，使样品入射点周围区域的部分电子飞出样品表面，这类来自入射点周围的二次电子称为 SE2。样品中的二次电子产额为 dsE—dsEl+砖E2 来01。它们将同时参与二次电子的成像过程，因而影响二次电子图像的分辨率。文献E23计算表 辨的二次电子像，必须减少低分辨的SE2分量。 当采用较低的加速电压时，入射电子束扩展宽度迅速减小，SEl和SE2信号均来自于几乎 次电子像的衬度信息产生贡献。所以在低加速电压下，将更有利于揭示其精细组织。 实验结果 实验中看出在微合金化钢样品中，如果采用20kV加速电压。无论在多大放大倍数下，我们 都无法分清铁素体晶粒内部的亚结构和析出相信息(见图2)，而在相同视场采用5kV加速电压， 就可清楚地看出在铁素体晶粒内部亚晶的分布特征及其精细组织，还可较清晰地分辨出纳米级 第二相(见图2b)。由此可判定这种钢中尽管经历了铁索体相变，但仍保留着原奥氏体低温形变 过程所产生的微畸变区。铁素体晶粒内和晶界处，还分布着许多纳米级第二相粒子。这种铁素体 晶粒内部的亚结构和细小析出粒子必然对该钢的性能有重要影响。 结论 1．对于样品凹凸度小的精细组织，应采用较低加速电压来分辨其细节，HSLA钢中的纳米级颗 电子显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soc 582 17(5)：581～58Z1998年 粒和铁索体晶内的亚结构可以通过选取合适的制样技术在场发射扫描电镜下直接研究。 2．为保证分辨率应视材料和样品中精细组织的尺度需要，选取适当的加速电压，以调整SEl和 SE2对二次电子像的贡献，保证二次电子像的分辨率。 参考文献 [13唐国翌．物理测试，1991，5：40一42． David 216—233． [2]JoyC．Ultramicroscopy．1991，37 HandDenreichJHey．ElectronMicroscopyinSolidStatePhysics．GermanDemocratic [3]Bethge Republic， 1985．】83． 图1来自于样品表面的二次电子(SEl和SE2)发射轮廓示意图 a．20kV加速电压下的二次电子像 b．5kV加速电压下的二次电子像 图2 HSLA钢中的组织和析出相