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HgOdTe分子束外延衬底温度的辐射研究
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一=虽科学莲上l每技术物理研究所、#导体薄膜材料研究中心红外物理国家重点实验室)
掳要HgCdTet,4BE生长的温艘稳定性r寸二Ⅵ口的品体碴萤越着重显的作用。岍宄irl果丧胡:对于HgCdTe},狂
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J’H“JTe生受温度的控制星求,筷撂1‘较好酌晶体礓量.
一、引言
对}_fgCdTe她E生&的控匍.完全是通过控制Hg、id。Fe、Te源炉以及对底的温度来实现宣匀.
这些温度的稳定性对_了二ⅥcT的组舒和品体质蜒起着重要的作州,持别是村底韵温度造个i&碓整
剖的参数,对底温度政变.原子的粘酣系数蕊Z故变,埂得材蚪的化学配比必然发生变化,
HgI=dTe的组分就会波动.遗成材料的纵向组分不均匀。另外.生长的初始阶段.温度的变化芽
晶l奉质繁也会产生艰犬的影响。 因此,HgCd3e的衬霞温度是个重要的生长控制参数。我”:利
翔辐射原理对红外辐射测温仪测得的温度进i::研究.力图找到温度的变化规律,提高控温能
力。
二、原理:
红外辐射测温仪通过测聋表面纳辐射餐来确定;器壁,物体嵌面辐射鼙M、韵大小与表面温翌
?以及丧面发射辜£有关,如餐忽磷表面形啦肘发射率构影响.酉:
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三、结果与讨论
’CdTe/GaAs表面辐射置的变纯
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