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HgCdTe分子束外延衬底温度辐射研究.pdfVIP

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HgOdTe分子束外延衬底温度的辐射研究 王善力塑艳于海芳乔惰敏杨建荣俺力 一=虽科学莲上l每技术物理研究所、#导体薄膜材料研究中心红外物理国家重点实验室) 掳要HgCdTet,4BE生长的温艘稳定性r寸二Ⅵ口的品体碴萤越着重显的作用。岍宄irl果丧胡:对于HgCdTe},狂 殂十f:耐使得柯料的JJ骚收系教:殳生变化,封辩的麓射£隹生变化,碍。瓜表画罐耵量小斟:通过汁算?一!.。。口 渡段的辎射量变化发啦,币同组分音专P.gCdTe柑科,捌温位搿剖的;矗度凄按照过几个振薪嚣趋于稳定,迭要稳 定所需饔的时间髓HgcdTe的组分不耐丽币嗣,1、通分IlgCdre的涅艘I毒垃振荡.话崩较小,矧明硝{之一氆,选; 稳定温度的时间比较礁。莰们干|俑红外瑶甜震《温的方法获捋作品曩面温腹的缓曲垃小i小于=i℃).竞皂运} J’H“JTe生受温度的控制星求,筷撂1‘较好酌晶体礓量. 一、引言 对}_fgCdTe她E生&的控匍.完全是通过控制Hg、id。Fe、Te源炉以及对底的温度来实现宣匀. 这些温度的稳定性对_了二ⅥcT的组舒和品体质蜒起着重要的作州,持别是村底韵温度造个i&碓整 剖的参数,对底温度政变.原子的粘酣系数蕊Z故变,埂得材蚪的化学配比必然发生变化, HgI=dTe的组分就会波动.遗成材料的纵向组分不均匀。另外.生长的初始阶段.温度的变化芽 晶l奉质繁也会产生艰犬的影响。 因此,HgCd3e的衬霞温度是个重要的生长控制参数。我”:利 翔辐射原理对红外辐射测温仪测得的温度进i::研究.力图找到温度的变化规律,提高控温能 力。 二、原理: 红外辐射测温仪通过测聋表面纳辐射餐来确定;器壁,物体嵌面辐射鼙M、韵大小与表面温翌 ?以及丧面发射辜£有关,如餐忽磷表面形啦肘发射率构影响.酉: 7 ■ w。(即=jW(T,五}占.(,.五)以 (3j n 萁亭wfT,埘是砦朗克黑体辐射出射度,瓢,0塑笆发射翌。淑据隧精守超以及Kirchhoff定律虿 £1tT,^):Ⅱ(T,九), 其串a(T,x)为材抖的哑收军,材料的发财奎g可以从F式得出 jW(T.“)占。(丁.五)m 日n=卫__———— (4) J职t五m 0 害饵冀 时;’:的结啕多器芷生兰串通生量对坷的不断_趸化,导致:’笺霄重,戈洋n^的辐射髓茜溃 弋再生二j,j嗣发主娈·乞,:含童迁二建整钮皇.::蛊’{4}t_:t、匹三实孑刊刈芝卟璃r拼划曩{寸辩表 J加i趣;f底以薄摸洋品 面的温夏jr,:{l!【|得亓勺塥{j圣1l乏。!.式爱t翦iI录,丘对:fj只蚕置j磊tm 幸透£部分辐射M+的蹙%,磐: t6, .L,ITl:f.k,(71.A)r(T、m以, J T(j i,为洋i}:的透过置,透迂搴和暇u_翌书}卜萍可苌刮每罢光尊璋摸二二涉砸:车的方法“得出。 上述之j 5)t6)式全面:Ⅺ丧述了生K芝码甲洋品{芏下同温夏。芝外镉豺的变化情况。 三、结果与讨论 ’CdTe/GaAs表面辐射置的变纯 兰f;;lAs i、!戚被控制在某一温度的情 …r—————————一———— 3A悖 gr。州h瞎le 280c :3嘟: T删2 讨、粤全发生变化。龟300℃的生氏温度 l,m;

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