CO-%2c2-气体传感器低温化地研究.pdfVIP

98湿度·水协-气体 丁Ⅳ扣0 GO：气体传感器低温化的研究 蔡可芬1庄牧林2 ll两安电了科技人学．2西安华特林敏感技术研究所．710071，西安) 摘要 奉文介绍rw涮C02气体传感器的意义、麻用前景、研究内容和研制的指旨思 想，隼点介绍C0，传感器低温化的措施：(1)减小产【ji_K、，：f2)采用厚膜成坚技术． 改逃儿件的加热器结构．挺fj热效半：(3)筛选具有较』o增瞎作用的添加荆，提7。炙域 ，蔓，降，臣T忭潞度：L4)BaTiO，的原于价摔制对l皂容武传感嚣低蔷化的fI用。 关键词 气体传感器CO、敏感凡件电容，i低温化 引 言 人类活动止逐渐地改变着全球人气的组成和状态，如温空效应，0．甚破坏，酸雨等。为保持 生态平衡，创造舒适f}{J人类生活环境，满足L农业的生r“和发展，急需在不同场合F对CO：浓腰 I：，粮禽储存，粜蔬保鲜等过程的自动控制，蔬菜花 进行定量检测_I丰!；=!制，如I：业发酵，食j劬H 卉生产同艺的l：j化，以及CO，光合作Hj的主要罔索之一，俗称气体肥料的检测监控，对改善农 产品的喷量嗣啦：t局农怍物的产量都有重大的实J{{意义： 相谐仪．以及各类电化学仪器，上述方法有的殴各结构复杂、价昂，或操作不便；有些困受响应 性能及是敏度的限制和环境因素等的影啊，不能满足在线检测j≈需求。我们应用、l导体厚膜成型 技术，以提爵传堪器的性能和陛价比．来扩大应崩范同。 渚多Ⅳf究内容c}-的一个首要问题造如何减少传感器的功耗，降低气敏元件的{：作温度，这是 但!携式检测仪的一个荚键问题． 1研制设计的指导思想 1 1产品系列化 限丁-成本等诸多因素，研制、生产金属氧化物半导体气敏元件最简便。陶瓷烧结体型具有1： 艺成熟、结构简单、寿命长、价廉等优点，初期研制电阻式，今发腱为电容式。电子陶瓷是多品 种多功能的材制，研制成系列产品，其功能、特性和材料虽各异，但设备和J：艺甚为相近，有些 设备还是通用的，一组设备、一块场地、一套人员，生产系列产‘品，利于企业的发展。 1 2厚膜c0。气敏元件的设计 由于厚膜元件易于小型化，参数设计范围宽，生产效率高．互换性好，响应和恢复特性优于 烧结体式的，因此将体型改为厚膜型。 1 3选择物美价廉，长寿命的材料和结构，以适应当前的国内消费水平。 目前国内外对CO，气敏传感器的研究主要侧重于下列两种类型： 1)．固体电解质co’传感器：具有较高的灵敏度，良好的线性和选择性，较强的耐水性和抗 蔡可芬庄牧林C02气体传感器低温阮的研究 干扰性．但在实』H化方面还存在长期稳定性、寿命羊【吩格问题。 2)． 复合金属氧化物CO。气敏传感器：烧结体电容式co：传感器，结构简单，工艺成熟，价 廉，对j二消费水平尚不够高，检测精度要求不太严格的工农监’芒产单位很有实娟价值。 2 CO：气敏传感器的低温化研究 步入信扈，和智能化时代，工业和农副产品加工、储存过{}控制系统，对高效化、智能化要求越 来越高，作为I‘业口动化信息J．具的自动化仪表及其相关的信感器，则要求具有高稳定性、高可靠 性、高精确嗖、小理化、低功耗等。为了缩短CO：传感器商品化的进程，在降低功耗和工作温度 方面，作了人量的研究J．作。 2，1结构小型化 缩小了传感器体积，减少了热质蕈}u热容量，从面也降低了功耗。 2．2采用陶瓷厚膜成型技术，优化加热器结构。 敏感膜采Hj丝网印刷，将珂、形绕丝加热器改为在基片背面印制加热器，以利于元件小型化。 通过加热器结车勾的优化设计，侵较大部分的加热量供给基片P0边缘区域，适当地减少了中央区域的 供热茸．。改善加热器电m条00厚度、宽度和间距来改善整个加热器的功率分配，使加热温度分布比 较均匀。＆加热器上方义复盖了一层热绝缘介质，减小辐射对流的热损失，尽量增加传感器与周围 区域间的热阻抗以减小热辐射损失，从而选剑传感器的低温化。厚膜j．艺不但降低功耗达到低温化， 同时逆政进了元什的一致性，提高了且换性，这对手提式电源驱动的检测仪器是十分重要的。 2．3加强添加剂研究，筛选具有较好增感作用的添加剂，涅高灵敏度，降低工作温度 往、F导体气敏元件中，添加一定量的贵金属后，不但增加其检测灵敏度，还使其对气体灵敏