光学薄膜参数测量方法研究.pdfVIP

第 44卷第 3期 红外与激光工程 2015年 3月 Vo1．44NO．3 frar In edandLaserEngineering Mar．2015 ． ． ． ．． ． — — — — 光学薄膜参数测量方法研究 李凯朋 ，王多书 ，李 晨 ，王济 ll，董茂进 ，张 玲 (兰州空间技术物理研究所 表面工程技术重点实验室，甘肃 兰州 730000) 摘 要：为了研究准确性和效率更高的膜层光学薄膜参数测量方法，对优化膜系结构和改进制备工 艺都有重要的指导作用。论文在研究传统测量方法基础上 ，将包络线法与全光谱拟合反演法相结合． 提出了一种新型的光学薄膜参数测量方法。该方法将采用包络线法计算的单层膜光学薄膜参数近似 值作为参考，设置全光谱拟合反演法优化搜索的上下限，结合适当的评价函数构建计算物理模型，并 选用综合优化算法求解获得待测膜 系各膜层的光学薄膜参数 。最后设计 TiO。、SiO 单层膜和膜 系为 ：G10．5HLHL0．5HIA(H—TiO，L—Si02)的多层膜进行测量验证 ，并分析 了该测量方法的效率、准确 度、稳 定性等。 关键词：光学薄膜； 光学薄膜参数； 包络线法； 全光谱拟合反演法； 包络线一全光谱拟合反演法 中图分类号：0484 文献标志码 ：A 文章编号 ：1007—2276(2015)03—1048—05 Studyon opticalthin film parametersmeasurementmethod LiKaipeng，WangDuoshu，LiChen，WangJizhou，DongMaojin，ZhangLing (ScienceandTechnologyonSurfaceEngineeringLaboratory，LnazhouInstituteofSpaceTechnologynadPhysics， Lanzhou730000，China) Abstract：Studying more precise and efficientmeasuring—method for determining opticalparameters of thin filmsplays a guiding role in improving design and optimizing preparation processofopticalhtin films．Severaltraditionalmeasuring—mehtodswereintroduced briefly in thispaper，and anew measuring。 method wasdeduced combined envelopewith htefullspectrum inversion method fitting．In thismethod， opticalpraametersofa singlelayerwere calculatedapproximatelywiht envelopemethod，andaccording to the results，the upperand lowerlimitsoftheopticalpraameterswereestimated ofrthefullspectrum inversion meht