数字化阴影法测量光学元件表面面形地研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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数字化阴影法测量光学元件表面面形地研究.pdf

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V01．12 第12卷第3期光学精密工程 No．3 andPrecision 2004年6月 0ptics Engineering Jun．2004 文章编号 1004—924X(2004)03—0115—04 数字化阴影法测量光学元件表面面形的研究辛科，程灏波，冯之敬 (清华大学精仪系，北京100084) 摘要：提出了阴影检测技术的一种新型数字化方法，用于定量测量光学元件表面的局部面形误差量。在阴影测量装置后搭建数字图像提取和处理系统，运用傅里叶光学原理进行测量方法的数学建模。利用数字图像系统提取阴影检测图像，通过对阴影检测图像特征的分析重构出光学元件面形。仿真结果表明，运用该模型提取一抛物面镜的面形信息，在一维 A(A一632．8 径向方向上可以达到1 nm)RMS的重构精度，可以满足光学元件加工粗抛光阶段测量的要求。关键词：数字化；阴影法；图像处理；面形拟合中图分类号：TH741．3文献标识码：A for surface shadowmethod Digital measuringoptical XIN Ke，CHENGHao—bo，FENG Zhi-jing PrecisionInstrumentsand (Dept．of Mechanology，TsinghuaUniversity，Beijing methodis basedon technolo— shadow the novel Abstract：A testing presented digitalimageprocessing CCD surfacedeformationson device for local surface．The gy characterizing optical image—receiver shootsseveral in local is (756x504)behind imagessequence．Theslopeanalysis diaphragm ofilluminationlevel in thenthe characteristic changesimages．And up throughpicking betweenillumination1evel anddeformationsonsurfaceisbuilt Fourier changes