电阻发热引起的压阻式压力传感器零点失调的研究.pdfVIP

电阻发热引起的 压阻式压力传感器零点失调研究 李晶品岳瑞峰刘理大 清华人学微电子所北京100084 摘要 本文使川直堕垂直鎏-分析了堕垄堡壁量老塾皇匣工作时的自身发热对传感器零点输出 的影响，结果表面：由丁电阻I：作时的发热引起传感器温度分布的不均匀，即便组成序力传 感器电桥的力敏电阻参数完全延再已，传感器也存在零点失调。 一、引言 为提高灵敏度，减，J、零点漂移和提高线性度，压阻式压力传感器的力敏电阻一股梭成惠 斯通全电桥形式。理论上，如果备电阻参数完全相同，电桥在外加压力为0时输出J,j0。网 此，以往的研究通常认为零点火阔源丁掩膜制作、光刻、扩敞等11艺造成的电阻不匹配…。 对】一电阻完全匹配的电路，是否就不存在零点失调呢?我”J认为，力敏电阻r作时的发热可 能会造成传感器温度分布的不均匀，这将引起两个效应：1)由于温度在组成电桥两臂的电 阻上分布不均，造成电阻随温度的变化不同，使得原本匹配的电阻值变得不匹配，从而产生 输出：2)传感器温度分布不均匀将引起传感器热膨胀的不均匀，会产生附加的热庶力。这 一部分热应力如果分布在力敏电阻所在区域，必将由其感麻出来，形成输出。冈此，即使桥 臂电阻参数完全匹配，如果电阻1．作时发热造成传感器温度分布不均．也会引起零点火调。 争；}；t 本文使垌有限元方法分析了这一问题。分析的步骤为：1)、计算电阻发热引起的传感器结壮J 上温度的不均匀分布，爿计算这一温度变化引起的并电阻阻值的变化。2)、利J．}41)中得刮 的传感器温度分布，得山热麻力分布，并由此计算热麻力引起的各电阻阻值的变化。3)、利 5。 川1)、2)中得刮nql咀值变化．计算传感器输出。使川的有限元分析软件为ANSYS5 二、建模 对于非均匀受力的K条形扩散电阻，电阻阻值随庶力变化的关系式为：“1 警：了1r(确+_q№ ㈩‘¨ 百2Z^(石一+_q胁 w一；卜t{t，I●i{；；kr 其中L为电阻条K度，n、m分别为砗村料的纵向、横向压阻系数，a，、o．分州为纵向 』横向府力。 压力传感器的力敏电阻通常接成惠斯通全电桥的形式，如幽I。传感器的结构通常设计 成使得△R1=AR2，AR3一AR4。令 ^ △R】 ‰-2百 (2) △：堡 ’7 R ；-‘‘’’ ·167· X