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集成化柔性激光加工系统的误差检测及其补偿一一刘荷辉 虞 钢 文章编号 ：1004—132X(2003)05—0367—04 集成化柔性激光加工系统的误差检测及其补偿 刘荷辉 虞 钢 摘要：基于集成化柔性激光加工系统的特殊框架结构和为满足测量及 加 工精度要 求，针对加 工 系统的整个框 架和机 器人腕部分 别建立 了相应的 误差补偿几何模型。利用三维激光跟踪干涉仪对激光加 工系统进行 了检测， 并根据检测结果结合相对应 的补偿模型对 系统进行 了实时软件误 差补偿 。 测量和加工试验及 干涉仪的检测结果显示所建误 差补偿模型合理 ，系统满 足测量和激光加工的精度要求。 刘荷辉 博士研究生 关键词 ：激光跟踪干涉仪 ；柔性激光加工；误差分析补偿 ；CIMS 中图分类号 ：TN24l 文献标识码 ：A 集成化柔性激光加工系统是基于光机电一体 证测量数据的准确性和加工数据转化为加工轨迹 化、机器人和CIMS的概念 由中国科学 院力学研 的精确性