数控机床位置误差测试的优化方法研究及应用.pdfVIP

Prots＆TecIog 岛壤 量 删 匠妖 O 5一05一O5O5O 5O 量气温、气压和湿度 ，然后干涉仪 自动通过补偿 公式计算空气的折射率及激光波长，并根据计算 值调整激光读数，对激光波长 的任何变化进行 补偿 。 (1)空气温度补偿 雷尼绍激光干涉仪通过空气温度传感器来测 方向目标位置／m 试气温变化，激光束所经过的空气温度变化量 1℃ 时，最严重时会导致线性位移测量产生 1ppm的误 图1 不同室温下材料温度补偿后的位置误差 差 。因此空气温度传感器在布置时应尽可能靠 其中的内在原因。 近激光束 ，通常大致处于运动轴 的中间位置即可， 三、激光干涉仪测试位置误差时的精度 同时应避免传感器安装位置附近有局部热源或冷 气流。国内机床厂家一般把空气温度传感器放置 补偿 在机床的外罩上，当室温保持恒定或者变化缓慢 激光干涉测量技术 的基理是将两束相干光波 时，空气温度传感器放置在外壳上引起 的测量误 形合并引起相互干涉，其合成结果为两个波形 的 差很小 ，可忽略不计 ；而当室温变化较快时，则可 相位差，用该相位差来确定两个光波的光路差值 能由于机床外罩温升 的相对滞后而造成气温补偿 的变化。位置误差测量采用 了一个光学元件相对 的误差。 于另一个光学元件的相对运动方式，如图2所示 ， (2)空气压力传感器和相对湿度补偿 由激光头的干涉条纹计数电路来确定两个光学元 由于空气压力和相对湿度变化导致测量 中增 件间的距离变化 ，并与被测机床的位置读数相 比 加的误差变量是 已知的，而在整个工作 区内空气 较来确定位置误差大小 。 压力和相对湿度都不会有大的变化，因此空气压 力传感器和相对湿度传感器在测量时不必布置在 接近光路的地方。不过，相对湿度传感器必须远 离热源和风。国内机床厂家一般把这两个传感器 放置在测试台附近或者机床外罩上，雷尼绍激光 干涉仪通过实时监测气压和湿度 的变化 ，并 自动 进行补偿计算。 图2 激光干涉仪检测位置误差安装图 2．激光干涉仪测量时的材料热膨胀补偿 1．激光干涉仪测量时的环境补偿 校准行业使用的国际基准温度是 20℃。在理 线性位置测量精度取决于已知的激光波长 的 想环境下 ，所有机床均在此温度下校准和使用。 精度 ；激光波长取决于光束经过的空气的折射率， 然而，大多数机床所放置的车间环境都无法做到 而空气折射率主要随气温、压力和相对湿度的变 精确温控，