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光栅线位移传感器精度的影响因素分析.pdf
I 訇 化
光栅线位移传感器精度的影响因素分析
Analysisonseveralfactorsaffectedtheaccuracy ofgratingsensors
郭晓聪’,牛永生’,赵惠英 ,任东旭
GU0 Xiao—cong。,NIUYong.sheng。,ZHAO Hui.ying,RENDong-xu
(1冲原工学院机电学院,郑州450007;2.西安交通大学 精密工程研究所,西安710049)
摘 要:光栅位置检测系统是数控机床的重要组成部分,其测量精度直接决定了数控机床的精度。文章
分析了影响光栅线位移传感器精度的因素,对刻线面机械加工质量、光栅标尺刻划环境、机
械误差及温度因素对光栅标尺精度的影响进行分析,通过公式推导,曲线对比,分析了所歹0
因素对位移传感器精度的影响大小,并针对影响因素提出了提高精度的相应措施。
关键词 :光栅标尺;莫尔条纹;温度特性;精度
中图分类号 :TH741 文献标识码:A 文章编号:1009—0134(2015)02(上)一0071—03
Doi:10.3969/J.Issn.1009-0134.2015.02(1-).19
0 引言 尔干涉条纹,光敏元件将光强的变化转化为电信号
光栅位置检测系统作为数控机床的重要组成 并经过放大、整形和细分实现位移测量 莫尔条纹
部分 ,主要用于数控机床的位置检测和闭环反馈控 是大量栅线共同作用的一个宏观效应,就像是栅线
制,用来进行高精度检测直线位移和角位移,其测 的放大,少数光栅标尺的栅线误差不会影响到测量
量精度直接决定了数控机床的精度”】。德国海德汉 精度I。莫尔条纹的条纹间距与光栅栅距呈线性关
公司是世界上最知名的光栅线位移传感器的生产厂 系,比例系数为夹角的倒数 。图1是莫尔条纹的简
家,其样本公布的指标可达:栅距0.5l2um,分辨率 化,条纹间距为B。
0.001~m,准确度±0.1uIIl/m。我国高精度光栅线位
移传感器研制及制造能力较弱,指标:栅距20pm,
分辨率0.1m,准确度-I-5larn/m,均属中低档产品,
只能用于普通机床 。近年来,西安交通大学关于光
栅位置检测系统的研究主要集中在高精度母板制造
技术,长春光机所主要集 中在绝对编码技术,国内
对光栅线位移传感器的影响因素及结构优化分析较
少。光栅尺的制造误差、温度特性及机械运动精度
图1莫尔条纹
直接决定了光栅线位移传感器的精度,本文对影响
光栅线位移传感器精度的若干因素进行了分析,重 / i
点讨论了光栅尺的制造误差和温度特性。 1『+;-2d。dcos0
因两光栅的栅距近似相等,d。=d:= 。
1 测量原理 则有:
光栅测量技术基于莫尔条纹原理 ,即相同的长
B =
度内具有相同刻线数的两块光栅做相对运动形成莫
收稿日期 2014--07--2l
基金项 目 北京市科技计划课题:高精度光栅线位移传感器研制 (Z121100001612009);国家科技重大专项子课题:高
档数控机床与基础制造装备——l(I)P晶体坯片高成品率的金刚丝线切割技术与装备研究 (2013ZX0400~11-209);
北京市朝阳区协同创新项目:高档光栅线位移传感器产品研制 (Z
作者简介 郭晓聪 (1990一),女,河南许昌人,硕士研究生,研究方向为超精密制
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