圆弧砂轮修整评价及非球面磨削误差补偿技术.pdfVIP

第 27卷第 4期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．27。No．4 2015年 4月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Apr．，2015 圆弧砂轮修整评价及非球面磨削误差补偿技术 柯晓龙 ， 林晓辉 ， 王 健。， 王春锦 (1．厦门理工学院 机械与汽车工程学 院，福建 厦门 361024； 2．厦 门大学 物理与机电工程学 院，福建 厦门 361005； 3．中国工程物理研究院 激光聚变研究 中心 ，四川 绵 阳 621900) 摘 要： 利用杯形砂轮修整器对圆弧砂轮进行修整，并采用非接触式位移传感器实现对圆弧砂轮的测 量，提出将修整后圆弧砂轮的圆跳动误差值与圆弧半径误差值网格化后用于评价修整效果。根据磨削加工原 理，计算匹配的修整测量参数并利用修整误差进行补偿加工 。修整实验表 明，杯形砂轮修整方式是一种理想的 修整方式，对 比传统的磨削加工，修整误差的补偿加工效果 明显，两次补偿加工后 的面形误差分别减小 了 36．5 和 28．1％。 关键词 ： 光学非球面 ； 圆弧砂轮 ； 修整评价 ； 误差补偿 ； 在位检测 中图分类号： THI61 文献标志码 ： A doi：10．11884／HPLPB201527．044102 非球面镜相对于球面镜而言，不仅能够消除球面元件在光传递过程中产生的球差、慧差、像差、场曲等不利 影响，而且能减少光能损失 ，获得高质量的图像效果和高品质 的光学特征。尤其是大 中口径光学非球面镜，更 是广泛地应用于激光聚变装置、高能激光器 、卫星光学系统等 。圆弧砂轮磨削是非球面镜磨削加工 的一种 常用形式 ，然而这对圆弧砂轮的廓形精度提 出了很高的要求 。为了解决这个问题 ，必须对圆弧砂轮进行精密修 整 。电火花修整 、激光修锐 、金刚石滚轮修形和杯形砂轮修整等修整技术相继被提出并得到应用 。比较各种修 整方式 以及磨削加工方式 ，由于杯形砂轮修整可以获得较理想的金刚石砂轮磨粒状态和较好 的工件加工精度 ， 因此被认为是一种相对理想的修整技术 。]。为了进一步提高加工精度 ，许多学者讨论并进一步研究了非球面 镜磨削补偿加工 。w．B．Lee等 在调整非球面中心的同时，将测量获得 的误差用于更新补偿加工代码 ，多次 补偿加工后获得较理想的加工精度 。H．Huang等 。在平行磨削加工方式中利用在位检测技术获得 了误差数 据 ，直接或者在法 向方 向上进行误差补偿 。基于多体系统、刚体运动学等理论建立的非球面的误差模型也被提 出并用于补偿加工[1。。。还有学者提 出了适合非球面的误差分离模型，有效减小 了加工误差等[11-13]。综上所 述，大多的补偿策略都没对 圆弧砂轮修整误差进行系统考虑 ，且对于圆弧砂轮修整误差的补偿加工的报道还相 对较少。因此 ，本文将考虑圆弧砂轮的修整误差 ，并将其应用到非球面镜的补偿加工中，以提高非球面精密磨 削的加工精度。 l 圆弧砂轮表面测量 1．1 圆弧砂轮修整方式 目前 ，圆弧金刚石砂轮 常用于非球面镜 的磨 削加工 中。 为保证非球面镜 的高精度 ，采用 的圆弧金刚石砂轮必须要有 良好的表面质量 ，因此需要对圆弧砂轮进行修整。砂轮修整 有很多种方式 ，本文采用 的是绿色碳化硅磨粒 (Gc)杯形砂轮 修整方式。杯形砂轮修整既可以修形，也可 以修锐，特别适合 金刚石砂轮修整。修整的大体过程为：从杯形砂轮上脱落下 来的磨粒对金刚石磨粒和结合剂产生冲击和研磨 ，从而产生 修整 的效果 。杯形砂轮修整既可 以修整平面砂轮 ，也可修整 Fig．1 Truingmethod0faregrindingwheel 圆弧砂轮。图 1为本课题组 自主开发的圆弧砂轮修整器 。其 图 1 圆弧砂轮修整方式 工作方式为 ：磨床提供被修整 圆弧金刚石砂轮的旋转运动和 水平往复运动，杯形砂轮修整器则提供摆动 、垂直进给运动，以及杯形砂轮的 自转运动 ]。 * 收稿 日期 ：2014—05—23；