半导体制冷横向塞曼稳频激光干涉测量系统.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 半导体制冷横向塞曼稳频激光干涉测量系统 付志凯，张 健，吴丽莹 （哈尔滨工业大学 超精密光 电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001 ） 摘要 ：介绍了横向塞曼效应 He-N e 激光器的磁场设定、信号获取、利用半导体制冷 （TEC ）的 主从控制稳定频率 的技术。阐述了由程控倍频模块和双通道缓冲连续计数模块组成的电子细分 电路 ， 实现可用按键设定 2、4、8 、16 四种计数脉冲细分系数，以获取不 同干涉测量分辨力 。实验得 出了 横向塞曼稳频激光器的频率稳定度为 1.74 ×10-9 ，稳频时激光管温度为 43 ℃，克服了加热稳频法激 光管温度过高、不易散热 以及风扇风冷法激光频率短期稳定度低的缺点。系统具有 0.16、0 .0 8、0 .04、 0.02 µm 四种测量分辨力。 关键词 ：双频激光干涉仪 ； 横向塞曼效应 ； 半导体制冷 中图分类号：TN16 文献标识码：A 文章编号：1007-2276(2008)增(几何量)-0207-05 Fr equen cy st ab ilized tr an sver se Z eeman laser inter fer ometr ic measur in g system with th er moelectr ic cooler FU Zhi-kai, ZHANG Jian, WU Li-ying (Institute of Ultr a-Pre cision Optoele ctr onic Instrument Engineering, H arbin Institute of Te chnology, Harbin 15000 1, China) Ab st r act The techn ology of magneti c field set up, signal acquisition, frequency stabilization wit h thermoelectric cooler (TEC) using master and slave control l oop of transver se Zeeman He-N e laser is introduced. The interference subdivisi on electronics comp osed of programmab le frequency mu ltiplier modu le and dual-channel continuous bu ffer counter module is presented, which may be set to acquire four pulse count sub division factor s of 2 , 4, 6 and 16 by using buttons, which means four different measurin g resolutions. Experiment results show that the frequency stability of the frequen cy stabilized transver se Zeeman He-N e laser is 1.74 ×10-