微细管内气体流动特性实验研究及影响因素分析.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 2003年学术会议 编号：033224 微细管内气体流动特性实验研究 及影响因素分析 唐桂华陶文铨何雅玲王秋旺 (西安交通大学能源与动力工程学院；动力工程多相流嗣家重点实验室．西安710049) 奠要： 实验研究了直径范围501an-200pm徽细圜警内气体阻力特性·结果表明所研究徽细管内阻 力特性与常规譬基本符合．从层流到蠢流的转按Re敦也未明显挺酋．由于尺度效应，一些非常规因素 对徽尺度流动将产生明星影响．综合翦人研究结累，对髟响t尺度阻力特性研究结果的相关因素进行 了探讨． 美■词： 徽尺度；气体流动；实验研究 1引言 微机械制造技术的飞速发展，极大地推动了徽电子机较系统(MEMS．指特征 尺寸小于Imm但大于I／．an的器件)在各个领域中的应用．在徽电子机攘或纳米器件 的设计和应用中，在电子罂件冷却及高效紧凑式换热嚣等应用方面。徽尺度流动和传 热问题显得日益重要和突出。已有实验及理论数值研究表明．由于徽尺度通道的许多 固有特点，使得常规通遵下的流动与换热诸多关联式不再完全有效，建立在宏观经验 上的传统流体力学、传热学理论不再完全适用．必须综台考虑滚动滑移、热蟮性、粘 性耗散、压缩性、分子问作用力以及其它非常规的影响． 迄今为止，虽然对徽尺度流动特性研究进行了大量工作【’-q．但是对其中的流动机 理的认识远未成熟。在研究结论上也尚未统一，仍需进行大量的实验数据积累以及更 深层次的理论研究．本文首先对氮气在徽细石英玻璃管(5哪_硼，觏)中的滚动进行 与相关文献的实验结果进行分析比较．另外。通过综合前人相关文献中研究结果，本 文对可能影响徽尺度通道内流动特性研究结果的因素进行了探讨． ， 2实验装置 实验装置如图l所示，气体由高压气蠢减压经过滤器后进入测量系统，测试段进 口压力由粗压力调节阀及精密压力调节阀控制．进出口绝对压力及温度分别由绝对压 力传感器和热电偶测量。测试段进出口压差由差压变送嚣测量(当小压差时)，体积流 量由不同量程范围的徽体积流量计测量。所有测量数据都由计算机进行数据采集。经 西安交通大学博士论文基金项Il(DFXJTU2002-II 嘲 过误差分析，实验误差控制在10％以内。 Regulator P P“。 l 05urn 二 —t聂7卜t工一竺竺竺)—d争—j Ntrogen Precision Plug r— 。、，，LJ面毋oV8I”。s}—一vF Gas 。 =二。、 r— Regulator AP AP-——u__VF——一 一 一 …。 图1实验装置示意图 3实验结果 对于本文研究的可压缩气体流动，其阻力系数可由(1)式等温流动公式计算‘”。图 k=譬[搿锄(剀 ㈩ 从图上可以观察到阻力系数与层流分析解基本符合，其差别在实验误差范围以内。 当Re1000，阻力系数f随Re增大，有增火趋势，但这并不能说明流动开始从层流到 压缩性影响导致阻力系数偏离理论预测直线。而对于直径200／am通道，出口马赫