阵列式多针-柱电极装置实现离子风的实验与分析.pdfVIP

2014年 第33卷 第 10期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 25 DOI：l0．13873／J．1000-9787(2014)10--0025--03 阵列式多针一柱电极装置实现离子风的实验与分析 刘钧誉，李 华，曾德查 (桂林电子科技大学 生命与环境科学学院。广西 桂林541004) 摘 要 ：为了实现一定气体流速的离子风，设计了一种新型的阵列式三排3x3垂直放置的针一柱电极结 构放电装置。在针一柱之间间距为3mm、排与排之间间距为8mm、镇流电阻12MQ、放电电阻12MI1、测试 电阻1kn、大气压环境、室温、无外部通入气流时，阵列式针一柱电极实现了稳定的电晕放电，并通过示波器 记录的放电波形、数码相机拍摄的发光图像以及放电伏安特性曲线进行了验证。同时，随着阵列式排数的 增加，放电电流变大，离子风风速也随之增大。该针一柱结构易于用 MEMS工艺加工制作，可应用于便携式 分析仪器中。 关键词 ：离子风 ；阵列式；针一柱电极；电晕放电；便携式分析仪器 中图分类号 ：TH83 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2014)10-0025-03 Experimentand analysis0fionicwindrealizedbyarray m u-lt·i■need1lie-1Dar ellectr·odle d1evi●ce LIUJun-yu，LIHua，ZENG De-cha (SchoolofLifeandEnvironmentalSciences，GuilinUniversityofElectronicTechnology， Guilin541004，China) Abstract：A newtype3x3alignedarrayneedle—barelectrodestructureinverticalpositionaredesignedtorealize ionicwindwithacertaingasflowvelocity．Inconditionthatthedistancebetweenneedle—baris3mm，thedistance betweenrowsiS8mm ，theballastresistanceis12MQ，thedischargeresistanceiS12Mn ，thetestresistanceiS 1kQ，in ambientair，atroom temperature，withoutairflow，the stable corona discharge between needle-bar electrodeisrealized，anditisverifiedbydischargewaveforlTlrecordedbyoscilloscope，luminousimagerecordedby digitalcameraanddischargevolt-amperecharacteristicscurve．Atthesametime，thedischargecurrentandthe flowvelocityofionicWindincreasewiththerownumberofarrayincreasing．Thestructureiseasytobefabricated byMEMStechnology，whichcanbeusedinportableanalyzer． Keywords：ionicwind；arraytype；needle—barelectrode；coronadischarge；portableanalyzer 0 引 言