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2017-08-09 发布于安徽
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微摩擦测试技术研究进展.pdf

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2006 2006年7月润滑与密封 July LUBRICATIONENGINEERING 第7期(总第179期) No．7(serialNo．179) 微摩擦测试技术研究进展4 李小兵刘莹郭纪林周顺斌 (南昌大学机电工程学院江西南昌330029) 摘要：随着微型机械的发展，尤其是微摩擦学研究的进展，微摩擦测试技术显得极为重要。综述了国内外微摩擦测试技术的研究进展和现状，介绍了基于应变仪、压力传感器、电磁微型马达、硅微机械结构、浮力、光学检测等原理的微摩擦测试仪，分析了它们的工作原理和特点。关键词：微摩擦；测试技术；研究进展中图分类号：THll7文献标识码：A文章编号：0254—0150(2006)7—178-4 of Micro-tribologyMeasuringTechnology Progress Li Liu GUOJilinZhou XiaobingYing Shunbin ofMechanicalandElectrical (College Engineering，NanchangUniversity，NanchangJiangxi330029，China) the of is of tech— Abstract：With micro—tribology，itveryimportantmicro-tribology progressMEMS，especially measuring and of Wassummed somemicro-tri— nology．Theprogressactualityresearchingmicro-tribologymeasuringtechnology up，and basedonstrain sensor，1electmmagnetismmicro-motor，silicon bologytestingapparatus gauge，pressure measurementwere theirwork andcharacteristicswere buoyantforce，optical presented，andprinciples analyzed． Keywords：micro-tribology；measuringtechnology；researchdevelopment 摩擦现象与人类的生产和生活密切相关。自20 域，可通过力一电转换器进行测量，比如，金属丝薄世纪80年代原子显微镜和摩擦力显微镜问世之后，膜应变片，力的变化引起应变梁的弯曲从而导致电阻发现在原子、分子及纳米级尺度下宏观的摩擦规律不的变化，由惠斯通电桥测量出来，并且通过放大器把再适用…，摩擦学研究开始进入微观与宏观相结合的它转化为电压或电流信号以供进一步处理。从而通过新阶段呤o。随着人们探索深度的不断深入，特别是微测量电压或电流信号的变化量获得正压力和摩擦力。型机电系统技术(MEMS)在最近20年来的发展，