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元器件内在质量评价技术 贾斯章 西安电子科技大学徽电子所，西安，710071 摘要：本文在分析{I}规可靠性评价方法存在问题的基础上，舟绍目前国搿上广迁采用的元 器件内在质量评价技术和具体要求．整机生产厂可借鉴此技术，考虑采用进一步保 证元器件质量和可靠性的有效方法．元器件生产厂索也可以根据评价要求，考虑如 何改进产品设计和工艺控制，与国际要求接轨，尽早将产品打入国际市场． 一．常规可靠性评价方法存在的问题 长期以来，评价元器件可靠性的传统方法是进行可靠性寿命试验以及从现场收集并积 累使用寿命数据。但是，由于这两种方法的固有缺陷．已无法用来即时评价当代高可靠元 器件的质量水平。 1．可靠性寿命试验方法巳进八。死胡同” 常规的可靠性寿命试验方法是依据抽样理论，抽取一定数量样品，进行规定时间的加 速试验．然后根据试验结束时的失效样品数，判断该批元器件的可靠性是否达到某～水平。 试验样品数与可靠性水平密切相关。表l是一个具体实例…。 寰1失效事与可靠性试验样品敦的关蔫 (Z000小对加遗寿★试硅) l 失效事承早 允许0失效 允许2十失教l 1 1000FIT 355 835 I l 100FIT 3550 8350 l l 10FIT 35500 83500I 由表I可见，评价[000FIT失效率．即 可靠性水平为6级，只需几百个元器件。如 果要评价10FIT失效率，即可靠性水平为8 级。则需要几万个样品。 图l是Intel公司CPU电路可靠性水平 的变化情况【IJ。到新千年，CPU电路失效率 只有IOFIT左右。一般集成电路的失效率将 低至o．1Frr。显然，由于可靠性寿命试验方 法所要求的试验样品数太多，已不可能用于 圈1 评价高可靠元器件的质量水平。 2．现场数据采集与积累方法的。滞后性’ 显然．采用现场数据积累方法需要经过一定的现场使用时间以后才能对一种元器件的 质量和可靠性水平作出评价。对于新研制的品种．这种“滞后性”问题更加突出。如果考 虑到由于保密和其他人为因素给数据采集和积累带来的困难，更加限制了现场数据采集与 积累方法在评价元器件质量和可靠性方面的适用性。 323· 二．评价无器件内在质量的新思路 1．基奉硬．点 基于上述问题，从90年代开始，国际上在如何即时的定量评价高可靠元器件内在质量 方面进行了广泛的探索。根据下述基本原理，形成了一套有效的评价方法。 (1)可靠性是靠设计、制造出来的，因此可以通过对设计和工艺的评价来评价可靠性。 (2)仁铂时的“失效”决定了成品率．tO以后 的失效决定了可靠性．也就是说元器件的可靠性与 成品率有很强的相关性．Intel公司通过对近100 万个芯片的试验，得到反映可靠性水平的老化成品 Yie旧的关系如图2所示 率Yr与中测成品率(Sort 12|，表现出很强的正相关关系．中测成品率越高． 老化成品率也越高，而且数据分散性越小．因此可 以通过对成品率的评价来反映元器件的可靠性水 Sort．Yieid 平。 田2 (3)从工艺角度考虑，影响元器件质量和可靠 性的原因是工艺中总要产生“缺陷”。如果缺陷趋于零，则工艺成品率趋于100％，而失效 率趋于0。因此，工艺成品率的评价能反映出产品的质量和可靠性水平． (4)只有工艺过程稳定受控．才能持续地生产出质量好可靠性高的元器件． (5)在工艺水平一定