光刻装置中超透镜透射系数研究.pdfVIP

第 2期 韩午霞 ：光刻装置中超透镜透射系数研究 PMMA(图 1中 I区)后 ，在金属 Ag(图 1中 Ⅱ区)中 其 中 1= 2= 3= 1． 发生零折射 ，继而到达光刻胶材料 (图 1中的Ⅲ区) 以上理论公式 的计算结果与实验符合得很 的表面．最新理论研究表 明 ，超透镜通过两个效 好 ’，这表明了理论 的正确性 ，所以本文就利用这 应来提高图像 的清晰度．一个叫做聚束效应 ，另一个 些公式进行计算与讨论． 是滤波效应．所谓聚束效应来源于单负材料的零折 为了便于后面的理解与讨论 ，我们在下面列 出 射．如图 1中虚线所示 ，如果没有超透镜，光将沿着 无超透镜 (即d =0nm)时 ，透射系数 的另一种表达 虚线到光刻胶材料 的表面距离模缝更远的地方 ，因 式．由于在这种情况下图 1将转化成两种不同的介 此这相当于金属平板对光线进行 了聚束．而所谓滤 质，则对于两种不 同介质的界面 ，公式 (5)根据菲涅 波效应 ，指发散角较大的光线具有较低的透射率，这 尔公式也可以写成下面的形式 ： 也提高了成像线条 的精细度．以上两个效应全都包 含在如下的理论公式 中 一 … ra／2 2n2lcos0l E(，z)=I，．[(2w 。／A。) ． 一 2 。 +、／_=：而 √(— 。)+d] (— 。)dx，(1) ra12 (8) E(，z)=J，．日。[(2叮r^／／sl／A。) 上式中的 ．同样表示光的入射角． ~／(—．)+d](— ) 2 透射系数 的研究与讨论 (2) 我们将文献 [3]中的实验数据称为标准值 ，保 lEl=lEl+lE I (3) 持这些标准值不变，而 只改变超透镜厚度．入射角 = (4) 口。的范围应该是 0≤ 。≤ ，由公式 (4)一 (7)可 二 s K —Ez 分别计算出s波和P波的透射系数 ll随横向波矢 ， 瓢 l。l的变化关系，计算结果分别如图2和图3 所示 ： =