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第30卷第6期 Pt．2
声学技术 V01．30．No．6
2011年12月 T＆hnicaIAcoustics Dec．．20li
侯娇丽，王文，刘明华，何世堂
中国科学院声学研究所，北京，100190
‘ ‘ o ‘
一 ■ 一 ^一
ResearCn0n CharacteristicofLoveWaVedevice
temperature
withSU-8
waveguide
HOU
Jiao-li，WANGWen，LIU
Ming-hua，HEShi—tang
lnstilutP
ofAcoustics,ChineseAcademyofScience3,·8e0“喀，100190
同时由于SU．8的剪切声速远小于石英，也有利于
1引 言
改善基于Love波模式的传感器灵敏度性能。
Love波是一种质点振动既垂直于传播方向又 囊1蠢用材科的■理◆敷囊
垂育于表面法线方向的横表面波，Love波器件的基
TablelPlwsioslMrameterl口fused-●盹●rImle
oamonly
本结构是在支持剪切型声表面波传播的压电基片
表面覆盖一层具自．低剪切声速的波导薄层，将声波
能景集中于波导薄层，从而提高对表面扰动的响
4
64。YXLiNb03
应，近年来这种Love波器件被广泛应用到气体传 4 4瑚O -
4l。YXLiNb03
感器中，实验结果显示，基于Love波模式的气体 36。YXLiTa034 7伽O -
sT-∞。X
传感器比传统的瑞利型声表面波传感器的灵敏度 li英 5 2伽O +
36。YX石英 5
高1个数晕级【l】，展示了良好的应用潜力。目前报 sioz 2 2 O +
道的应用于液体以及气体传感器的Love波器件多 PMMA l O ．
采用石英基片／Si02波导层结构11-3]，器件的温度系SU．8 I雠税抛咖啪啪m啪 I● 啪Ⅲ啪O ．
数(t00为32ppm，温度稳定性较差【4】。Tomar等的研
究成果表明：波导层材料与压电基片的温度系数极
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