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电子元器件生产中的PPM技术 贾新章 (西安电子科技大学微电子所，西安710071) 摘要：随着电子元器件质量水平的大幅度提高，常规的百分不合格品率方法已不能满足表 征元器件质量水平的要求。为此，国际上从八十年代后期开始，广泛采用一种新的PPM 方法。本文在介绍PPM基本概念的基础上，具体介绍其在电子元器件生产过程中表征原 材料质量．工艺质量和元器件产品质量等方面的应用。 一．PPM的概念 随着电子元器件设计水平和工艺技术的迅速发展，其质量水平已发展到相当高的程 度．为此，就需要一种与这种高质量水平相一致的表征技术代替传统的百分不合格品率方 法．这种新的技术就是PPM． 1．PPM的基本含义 Per PPM的全称为PartsMillion，即用百万分之几的方式表示不合格品率．例如，用 10PPM表示产品平均质量显然要比用O．001％表示更加方便、简洁．PPM最初是用于化学 分析中表征微量元素的含量．现在，在电子元器件的生产中则用PPM描述不合格品率， 表征元器件的质量水平．需要指出的是，PPM不仅仅是表示质量水平时在数量表示方式 上的变化，丽具有“质变”的意义．在成品率很高的情况下，用常规的批接收抽样试验方 法已无法反映出其中的极低不合格品率．不然就需要抽取相当数量的样品，以致于实际上 无法实现．PPM则是适合于极低不合格品率的一种统计推理方法．在成品率很高的情况 下，PPM方法提供了对极低不合格品率的微小变化的可见性和可计数性．因此主要用于 表征批量大、质量稳定、成品率高的产品在～段时间内的平均质量水平．应用PPM技术 的关键是如何采集数据以及如何正确计算PPM值．对此，主要工业国家均在80年代后期 制订有PPM标准”J，对有关问题作出明确规定．我国目前也正在制定相应标准“o．本文结 合PPM在表征电子元器件生产中的原材料质量、工艺质量和元器件产品质量水平等方面 的应用，介绍有关规定和不同情况下PPM的计算方法． 2．工序能力指数与PPM水平 在工业生产中，广泛采用工序能力指数表征工艺水平．设工艺参数遵循正态分布，其 均值为Ⅳ，标准偏差为盯，如图1中虚线所示．通常将60r称为工序能力．工序能力指数 定义为： C。=l (1) Tl，一王l／6cr=T／60 、o 。，， 式中玉，和T1分别为工艺参数规范的上限和下限，T为工艺参数规范范围． 工序能力指数CP值定量地表征了该工序满足工艺规范要求的能力，直接反映出工艺 态夯布，工艺参数在／J±3仃范围的比例为99．73％，这就说明Cp=l对应于工艺成品率为 范要求范羼的结果．如表l所示． 32 碾博11、 在现实生产中，使工艺参数分布中心u与工艺规范要求中心值lTU—TL)／2相重合的 情况并不多见，特别在电子元器件生产中，采用闭环工艺控制的情况并不多，大多为“间 接”工艺控制．例如，lc中用得很多的扩散工艺，并不能在扩散过程中实时监测方块电 阻Rs的变化情况，因此不能做到在Rs均值达到规范中心值时即刻结束扩散．实际上部是 先做试片，根据试片测试结果凋整工艺条件．对于这种“间接”控制的工艺，各批工艺参 数分布的中心值u～般不会与规范中心值重合，偏移的程度通常为15d大小．图1中实线 表示的是参数分布中心比规范中心To大15d的情况． TL Tu ／ ； ’ ， ／ ＼ ， ／／l＼ ， ／ ……”＼ 668