被动活塞式气体流量主标准器.pdfVIP

2011年 2月 宇航计测技术 Feb．，2011 第 31卷 第 1期 JournalofAstronauticMetrologyandMeasurement Vo1．31．No．1 文章编号：1000—7202(2011)O1—0067—04 中图分类号：TQ022．116 文献标识码 ：A 被动活塞式气体流量主标准器 张永胜 白 银 (北京长城计量测试技术研 究所 ，北京 100095) 摘 要 研制成功的气体小流量标准装置以被动活塞式气缸作为主标准器。活塞采用水银环密封方式，该 方式可有效降低活塞与缸体摩擦，并且消除泄露。通过活塞 自重形成稳定被压 ，保证主标准器 内压力和气体流量 稳定。主标准器流量范围为 3ml／min～10lJmin，不确定度为 0．2％(k=2)。 关键词 气体流量标准装置 活塞 水银环 ThePassivePistonGasPrimaryStandard ZHANG Yong-sheng BAIYin (Changchenginstituteofmetrology＆measurement，Beijing100095) Abstract A smallflowrategasproverhasbeenestablished，andthepassivepistonprimarystand— ardwasusedintheprover．Intheprimary standar．aliquidmercury sealwasloadedintothepistoninor_ dertoreducedragandeliminategasleakagebetweenthepistonandthecylinderwalls．A smallamountof backpressureiscreatedbytheweightofthepison，SOthepressureinthecylinderandflowratewerevery smooth．Theflowraterangeofproverwasbetween3mL／minandlOL／min．andtheuncertaintywas0．2％ (k=2)． Key words Gasflow calibrator Piston Liquidmercury 1 引 言 高标准装置流量范围 (0．03～30)L／rain，测量不确 定度 ：0．2％ (k=2)。现建立成功的被动活塞式气 在 国内，气体小流量 (6L／min以下)标准装置 ， 体小流量标准装置可 以填补 国内在 0．1L／min以下 普遍使用皂膜管作为测量主标准器 。但 由于肥皂泡 的气体小流量校准方面的空 白。 形状的不确定 以及肥皂水产生的湿气和挂壁等原 因，使得流量测量准确度下降，一般测量不确定度为 2 标准装置介绍 1％。中国计量院研制的主动活塞式气体流量标准 装置，其技术指标为 ：测量范 围：(0．15—6)L／min； 2．1 标准装置结构 而国际上 ，德 国、美 国等国家建立了被动活塞式气体 气体小流量标准装置主要包括气源控制部分和 小流量国家最高测量标准。德 国 PTB建立 的国家 主标准器部分，如图1所示 。装置气源为高压气瓶， 最高标装置准流量范 围(0．003～3)L／rain，测量不 气瓶 内压力为 15MPa。气源控制部分通过两级减压 确定度 ：0．25％ (k=2)。美 国NIST建立 的国家最 在流量调节 阀前形成稳定压力。气源控制部分配备 · 68·