传感器芯片系统研究和应用.pdfVIP

2009燕 仪表技术与传或器 2009 Instrument andSensor 增刊 Technique supplement 传感器芯片系统研究与应用 夏善红，边超，孙楫舟，陈贤祥，彭春荣，董汉鹏，陈庆永，佟建华，郑凤杰，张虹 (中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室北方基地，北京l∞1帅) 摘要：基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、 易于集成化等优点，是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵 列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等。文中分 别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例，简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量 微传感器系统及其应用。 关键词：微型；传感器；芯片系统 中图分类号：’rP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一O006—04 Research ofMicrosensor and Application System-on-Chip XIA Shah·hong，BIANChao，SUNJi—zhou，CHENXian-xiang，PENGChun-mng， DONG Jian-hua，ZHENG Hong Hart—peng，CHENQing—yong，TONG Feng-jie，ZHANG ofTransducer of (State Technology，Institute l∞1帅，China) KeyLaboratory Electronics，CAS，BeUing onmicro／nanofabricationandmicroeleetronie and havebecomeone Abstract：Based technologies，micresensorsmierosystems ofthemost research to of ea8e a姻duetheir important advantagessmall—size，light-weight，low—powerconsumption，low-cOSt，and ofbatchfabric撕onand recent intherelevantfields focusonmicro／nanoself,or integration．In chips，mi— years，researches mainly wireless cro-sensor arrays，multi-sensorintegratedmicmsystems，sensor-circuitintegratedmicrosystems，micmfuidicsystem