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掠入射 X 射线衍射和散射实验技术及其应用
姜 晓 明
( 中国科学院高能物理研究所,北京 100039)
摘 要 对掠入射 X 射线衍射和散射实验技术的原理、设备和近年的发展和应用进行了介绍.
关键词 掠入射 ,衍射 ,表面结构
1895 年 ,伦琴发现了 X 射线 ,成为上世纪 的强的衬底信号. 与别的研究表面结构的实验
(
末轰动物理学界的一件大事 ,也标志着现代物 方法相比 , X 射线掠入射衍射 grazing incident
理学的开始 ,1912 年 , 劳厄等人第一次实现了 diffraction , GID) 或散射方法的最大优点在于可
铜晶体的 X 射线衍射实验 ,这一实验同时证明 以通过调节 X 射线的掠入射角来调整 X 射线
了X 射线的电磁波性质和晶体的微观结构 ——— 的穿透深度 ,从而用来研究表面或表层不同深
原子的三维周期排列. 从此 ,X 射线衍射成为晶 度处的结构分布 ,如表面的单原子吸附层 ,清洁
体结构测定的主要工具[1 ] . 人们普遍认为 , 晶体 表面的重构 ,表面下约 1000 深度的界面结构
材料结构最可靠的数据来自于 X 射线衍射研 以及表面非晶层的结构等等.
( 波长为 λ的 X 射线在材料中的折射率为
究. 国际粉末衍射标准联合会 Joint Committee
) δ β ( )
on Powder Diffraction Standards ,J CPDS 发行的 N x = 1 - - i , 1a
J CPDS 卡片中 , 收集了不同晶体结构的粉末 X 其中
射线衍射数据 ,成为物相测定的标准工具书. 2
δ ρλ π ( )
≡re / 2 , 1b
由于X 射线在材料中的穿透深度为十几微 β μλ π ( )
≡ / 4 , 1c
量级 ,所以在一般情况下 ,X 射线方法探测的是
(
材料的体结构 ,对材料的表面和表层结构 10 — 式中 re 是经典电子半径 , ρ是材料中电子的平
) ( )
5000 不敏感. 除了 X 射线光电子能谱 XPS μ
均密度 , 是 X 射线的线吸收系数.
等少数几种方法之外 ,在其他用 X 射线作探针 ( )
上面的 1 式表明 ,X 射线在一般介质材料
的实验技术过程中 ,来自表面或表层的微弱信 ( δβ
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