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掺 B对制备纳米 SiC的影响 ／喻 冲等 ·77 · 掺 B对制备纳米 SiC的影响 喻 冲，周大利，郑 卓，胡 驰 ，刘 松 (四川大学材料科学与T程学院，成都 610064) 摘要 以正硅酸 乙酯和葡萄糖分别作 Si源和 C源，草酸和硼酸分别作催化剂，采用溶胶一凝胶法制备 SiC前驱 体 ，并采用碳热还原法制备纳米SIC。采用XRD、SEM 对样品的物相和形貌进行表征。结果表明，用草酸作催化剂 制备的前驱体在 1550℃制备的SiC是颗粒与晶须的混合体，颗粒粒径为 30~50nm，晶须长度为 1～3m，晶须直径为 60～100nm；用硼酸作催化剂制备的前驱体其碳热还原温度显著降低，在 1400℃就能制备 出 C颗粒与晶须的混合 体 ，颗粒粒径为 2O～30nm，由于B加入后的抑制作用，SiC晶须的含量 明显减少。 关键词 碳化硅 草酸 硼酸 晶须 EffectofBoronon thePreparationofNano-SiC 、、 YU Cihong，ZH()U Dali，ZHENG Zhuo，HU Chi，LIU Song (CollegeofMaterialsScienceandEngineering，SichuanUniversity，Chengdu610064) Abslract Byusingtetraethoxysilane(TEOS)anddextroseasthesiliconsourceandcarbonsource，respectiwj ly，andoxalicacidandboricacidascatalyst，SICprecursorwasproducedbysobgelmethod．Thenn,mo—SICwassyn— thesizedthroughtheearbothermalreductionreactionoftheprecurson．XRD andSEM wereusedtocharacterizethe ．sample8phaseandmorphologies．Theresultsshow thatSiC。producedunder1550~C bytheprecursorwhichispm ducedbyusingoxalicacidascatalyst，isthemixtureof C grainandSICwhiskers．Thediameterofgrainis30～ 50nm，thelengthofwhiskeris1～3um andthediameterofwhiskeriS6O～ 100nm．linecarbolhermalredumionreac tiontemperatureofprecursorreduced significantly，produced byusingboricacidascatalytand thernixtureofSiC grainandSICwhiskerscadbeproducedunder1400℃．Thediameterofgrainis2O～30nm．SICwhiskerredureedob viouslyduetotheinhibitionafteraddingB． Keywords siliconcarbide，oxalicacid，boricacid，whiskers 0 引言 1 实验 碳化硅 (Sic)具有优异的性能，在结构陶瓷和 电子器件 将正硅酸乙酯和无水 乙醇按体积为 1：1混合 。按 L、、si 等领域有重要的应用 ”J。高活性 的超细 s 粉体是制备高 物质的量 比为 l：3将葡萄糖溶于与 乙醇等体积的蒸馏水 性能碳化硅陶瓷的必要条件之一 ]。制备超细SiC粉体的方