二极管激光器垂直阵列光束精密准直.pdfVIP

第 23卷第 3期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．23，NO．3 2011年 3月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Mar．，2O11 文章编号 ： 1001—4322(2011)03—057704 二极管激光器垂直阵列光束精密准直 郭林辉， 高松信， 武德勇， 吕文强， 李 弋， 李 艾 (中国工程物理研究院 应用 电子学研究所 ，四川I绵 阳 621900) 摘 要 ： 为实现二极管激光器垂直阵列输 出光束具有小发散角、高指 向精度 的特点，简述 了快轴准直 (FAC)微透镜的光束准直原理 ，分析 了调节装置 的精度要求及透镜选择等 问题 。通过光学成像方法实时监测 二极管激光 bar条 的近场像和远场像 ，对 FAC透镜分别进行粗调节和细调节 ，获得 了 2O个 bar条连续输 出 2 kW ，垂直阵列二极管激光快轴准直光束远场发散角 4．4mrad，bar条间准直光束指 向精度不大于±1．7mrad 的准直效果，并对监测精度进行 了简要分析 。对影响光束准直效果的因素进行 了分析 ，指 出了工艺优化的重 点。 关键词 ： 二极管激光 ； bar条 ； 垂直阵列 } 快轴准直 ； 指 向精度 中图分类号 ： TN248．1 文献标 志码 ： A doi：10．3788／HPLP0577 随着大功率全 固态激光器 (DPL)和光纤激光器 (FL)的快速发展 ，二极管激光器 (DI)因其结构紧凑、电光 转换效率高、寿命长、易调制和易集成等优点被认为是最有前景的泵浦激光器口剖，在工业加工和医疗等领域得 到广泛应用。德国DIIAS公司和美国nLIGHT公司最新的产品，都相继报道了 2O个 bar条垂直叠层 阵列实 现快轴精密耦合效果小于4mrad。大功率二极管激光泵浦模块技术 的不断进步 ，对 DL垂直阵列光束准直效 果和能量耦合效率的要求越来越高，进而对 DL泵浦模块研制过程中快轴光束 的精密准直耦合工艺提出了较 高要求，而快轴准直 (FAc)微透镜 的装调显得尤为重要。本文采用同时监测二极管激光器 bar条近场像及远 场像的方法来指导微透镜装调 ，通过优化微透镜装配工艺 ，实现了光束小发散角 、高指 向精度精密准直 。 1 精密准直耦合输出原理及实验装置 1．1 FAC透镜准直耦合原理及安装精度分析 二极管激光器是用半导体材料作为工作物质的一类激光器 (类似 p-n结)，其工作区厚度很薄，出射光束为严重不对称椭 圆 像散光束 ，快轴方向(垂直于p-n结)发散角达到 3O。～4O。，难于 di 直接与光纤耦合或泵浦 固体激光器 ，因此为了获得小的准直发 bar 散角和高耦合效率 ，要求对快轴方向光束进行准直 。 为了研究 FAC微透镜的准直性能 ，使用光线追迹法描述二 极管激光 bar条 (或称二极管激光线阵)出射激光经过微准直透 镜后的效果，如图 1所示 ，臼DL表示DL出射光束沿快轴方向的发 Fig．1 Raytracingofdiodelaserbeam through 散角 。 fastaxiscollimation (FAC)lens FAC透镜在大功率二极管激光 bar条 中应用时 ，对透镜 的 图 1 光线通过 FAC透镜的示意图 位置精度要求很高，FAC透镜 的安装调节如 图 2所示 ，一般需 要六轴精密调节装置。定义 FAC透镜焦距与物距的差为FAC透镜位置误差 (也称位置容忍偏差)，记为 △z， 表示为 △Z一±0．5A／NA。