利用照相平板印刷术制作钢表面微米图形技术.pdfVIP

第47卷第 3期 机 械 工 程 学 报 VO1．47 NO．3 2011年 2 月 J0URNAL0FMECHANICALENGINEERING Feb． 20l1 DoI：10．3901／JME．2011．03．124 利用照相平板印刷术制作钢表面微米图形技术水 任靖 日 蔡荣敷2 f1．延边大学工学院 延吉 133002； 2．韩国庆北大学摩擦学研究所 大邱 702701 韩国) 摘要：采用微机电系统关键技术的照相平版印刷术，利用电化蚀刻术进行钢表面微米图形的摩擦学设计和制作以及不同蚀刻 方法的基础研究；观察在不同电化蚀刻时间和图形密度下微米图形蚀刻深度和加工表面的变化规律，并分析他们之间相关关 系。结果表明，控制电化蚀刻时间可获得不同面积的钢表面微米图形以及不同蚀刻深度的微米图形，而且其变化具有一定的 规律。在金属材料表面微米图形加工中，照相平版印刷术加工方法与其他传统的加工方法相比具有微米图形清晰、表面质量 好、便于控制图形形状以及可大量生产等优点。在高强度金属材料表面上加工微米图形中，照相平版印刷术具有便于加工不 同形状、大小和深度的微米图形以及很好的适应性。 关键词：照相平版印刷术 微米图形 电化蚀刻术 摩擦学设计 中图分类号：TN305．7 M icropatterningonSteelSurfacebyUsingPh0t0lith0graphy REN Jingri CHAEYounghun (1．CollegeofEngineering，YanbianUniversity,Yanji133002； 2．ResearchInstituteofTnbology,KoreaKyungpookNationalUniversiyt,Taegu702701，Korea) Abstract：Basedonthephotolihtographyofhtekeytechniqueofmicro-electromechanicalsysterns(MEMS)，hteelectrochemical etchingisusedintribologydesignandmakingofhtemicropatterningonsurfaceofhtesteelnadthedifferentmehtodsofetchingare studied．Thevariation rule ofhte etch depht ofmicron—rgaphicsnad hte variation oftheprocessing surface atdifferent electro—chemicaletchingtimenadhtergaphicsdensityareobservednadtherelationshipamonghtem isanalyzed．Theresultsindicate htathtedifferentareaofsteelsurfacemicron-rgaphicsnad thedifferentdepth ofmicron—rgaphicsetching callbeattainedby conrtollinghteelectro—chemicaletchnigtimena dithasaregulra variation．Compraedwiht htetraditionalmachiningmehtods，the electro—chemicaletchnig techn iquehasa clera micron-graphics，a good surfacequality,convenientconrtolforgraph nadna advna tageofmassproductionunderhteprocessingofhtemicrongraphicsonhtemeatlsurface．Furthermore，itCna processhte micron—graphicsofdifferentshape，sizenaddephtonmosthigh-srtengthmeatllicm