移相式泰曼-格林红外干涉仪调试技术.pdfVIP

维普资讯 第37卷第3期 红外与激光工程 2008年 6月 Vo1．37NO．3 InfraredandLaserEngineering Jun．2008 移相式泰曼一格林红外干涉仪调试技术 贺 俊 ，王 青 ，陈 磊 (1．南京理工大学 电子工程与光 电技术学院，江苏 南京 210094； 2．南京北方信息产业集 团，江苏 南京 210022) 摘 要：叙述了 自行研制的移相式泰 曼一格林红外干涉仪的工作原理。针对红外光不可见的特点， 利用可见光和红外光的共光路调试技术，解决 了精确定位红外光路 的难题 ，设计 出一套红外干涉仪的 调整方案。分别对平面镜 、精磨粗糙平面和精磨粗糙球面的面形进行 了测试 ，并使用四步移相算法还 原被测波面，给 出了结果数据和二维等值 图、三维立体 图；所测平 面镜和精磨粗糙平面的面形偏差为 0．077A(PV)，精磨粗糙球 面面形偏差为 0．520A(PV)(h=10．6txm)。结果表 明：仪器干涉系统光学质量 优 于A／25，重复性优于 h／200，(h=10．6txm)。 关键词 ：红外干涉仪 ； 干涉仪调试 ； 移相算法 中图分类号 ：TN21 文献标识码 ：A 文章编号：1007-2276(2008)03-0516—05 AlignmentofTwyman-Green infraredphase-shiftinginterferometer HEJun一，WANG Qing，CHENLei (1，InstituteofElectronicEngineeringPhoto-electricTechnology，NanjingUniversityofScience Technology Nanjing210094，China；2，NanjingNorthInformationIndustrializationGroupCorporation，Nanjing210022，China) Abstract： The working principle of the Twyman -Green inrfared phase -shifting interferometer manufactured wasdescribed、Considering hte invisiblechraacteristic ofinfrraed light，hte problem ofhte accurateorientationofinfrraedpaht wassolvedbymeansofcommonpaht techniqueofvisibleandinrfraed light．Thealignmentschemeofinrfraedinterferometerwasdesigned．Planemirrorsandfinegrindingrough planeandsphericalsurfacesweretestedrespectively．Theoriginal wavefrontsundertestwererecoveredusing 4-framephaseshiftingalgorithm．Thedata，htetwo-dimensionalcontour，andhtethree-dimensionalmapof hteobtainedwavefrontswerepresented．Th epeak-valleyvaluesofhtemirrornadfinegrindingroughplane surfaceswere0．