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低温热致变色VO2薄膜的制备及应用.pdf
光 电子 ·激 光
第 卷 第 期 年 月
16 10 2005 10 VOl.16 NO.10 Oct.2005
Journalo O toelectronics Laser
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低温热致变色VO2 薄膜的制备及应用%
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沈 楠 !王双保!黄 光!李 毅!易新建
(华中科技大学光电子工程系9湖北 武汉 430074)
摘要C 提出了一种制备低温热致变色 VO 新型薄膜材料的工艺方法 在玻璃基底的Si N 薄膜上溅射
2 3 4
沉积 VO1 薄膜9再经还原性气氛退火9最终得到了nm 量级的VO2 颗粒 四探针测试电阻温度关系表
明9该类材料相变温度已经靠近室温 不同温度下测试的红外透过曲线表明9该材料在相变前后有良好
的红外开关特性9能够在智能窗等各类光电产品中获得应用
关键词C VO2 薄膜; 相变; 离子束溅射; 智能窗
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! ( )
T!381 T!43 A 1005-0086 2005 10-1227-04
Pre aration and A lication of Low-tem eratureThermochromic VO Films
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S~EN Nan WANG Shuan -baO ~UANG Guan LI yi yI xin-ian
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De t.Of O tOelectrOnic En ineerin ~ua
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