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内核尺寸对核壳结构 PSSiO 2复合磨料抛光特性的影响.pdf
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陈 杨 等 内核尺寸对核 壳结构 复合磨料抛光特性的影响
PS SiO２ １９１２１
文章编号: ( )
１００１-９７３１ ２０１４ １９-１９１２１-０７
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内核尺寸对核 壳结构PS SiO２ 复合磨料抛光特性的影响
, ,
１ ２ ２ １ ３ １
, , ,
陈 杨 李志娜 宋志棠 闵国全
( , ; , ;
上海市纳米科技与产业发展促进中心 上海 常州大学 材料科学与工程学院 江苏 常州
１． ２００２３７ ２． ２１３１６４
, )
中科院上海微系统与信息技术研究所 上海
３． ２０００５０
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摘 要 核 壳结构有机 无机复合微球作为一种新 间的酸碱作用和电荷作用将有机相与无机相结合 分
, ( )/
型抛光介质 在实现高效无损伤抛光方面具有重要的 别制备了聚甲基丙烯酸甲酯 PMMA SiO２ 和聚苯乙
. ( ) ( )/ ,
应用价值 以无皂乳液聚合法制备的聚苯乙烯 PS 烯 PS SiO２ 复合颗粒 并对样品的形貌和粒径等微
[]５
,
为内核 通过溶胶 凝胶法合成了一系列具有不同内核 . ,
- 观结构进行控制 再如 Graf 等 首先对 PS 微球表
/ . 、
尺寸的 复合微球 利用 和 ,
PS SiO２ FT-IR FESEM 面进行聚乙烯基吡咯烷酮修饰 利用正硅酸乙酯
,
等手段对样品进行表征 并借助 考察了复 ( ) , /
TEM AFM TEOS 的碱性水解过程 采用两步法制备了PS SiO２
合磨料内核尺寸对 介质层抛光质量的影响规律. . ,
SiO２
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