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2015-09-02 发布于湖北
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冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用.pdf

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90 材料工程／2011年7期冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用 ColdCrucible andIts in Theory Application of Silicon PreparingMulticrystalline 黄锋，陈瑞润，郭景杰，丁宏升，杨劫人，苏彦庆，傅恒志 (哈尔滨工业大学材料科学与工程学院，哈尔滨150001) HUANG Rui—run。GUO Feng，CHEN Jing-jie， DING Jie-ren，SUYan-qing，FUHeng—zhi Hong—sheng。YANG (SchoolofMaterialsScienceand 15000 Instituteof 1，China) Technology，Harbin 摘要：综述了冷坩埚技术的原理、特点与技术要求，重点介绍了电磁冷坩埚技术的工艺性能与影响因素，总结了各因素对冷坩埚性能的影响规律，最后概述了冷坩埚技术在多晶硅提纯与成型制备中的优势和应用，并展望了其未来的发展。关键词：冷坩埚；电磁感应；多晶硅；提纯中图分类号：TFl33文献标识码：A 文章编号：1001—4381(2011)07—0090—07 Abstract：The andtechnical ofcoldcruciblearereviewedinthis principle，characteristicrequirements and factorsofcoldcrucibleareintroduced． paper．Thetheory，technicalparametersinfluencing Effectsoftechnicalfactorsoncoldcrucible aresummarized．Theand performance advantagesapplica— tionof and of siliconwithcoldcrucibleareoverviewedtoo．Cold purifying muhicrytalline preparing crucible willbea and inmaterials technologyhopefulimportanttechnique engineering． words：cold Key crucible；electromagneticinduction；multicrytaUinesilicon；purification 随着科学技术与工业的发展，对于“高温材料” 1冷坩埚技术与“高纯材料”的需求越来越大，熔炼这些材料时对陶瓷坩埚的高温化学稳定性要求十分严格。人们在广义上的冷坩埚